第10章气体分析与湿度检测技术.ppt

　　3. 湿度检测方法分类 　　湿度检测的方法可分为四类： 毛发湿度计法、 干湿球湿度计法、 露点计法、 阻容式湿度计法。 其中干湿球湿度计与露点计的时效小， 可用于高精度测量， 但其体积大， 响应速度低， 无电信号，不能用于遥测及湿度自动控制。阻容式湿度传感器体积小， 响应速度快， 便于把湿度转换为电信号， 但稳定性差， 不耐SO2的腐蚀。 10.2.2 湿敏传感器 　　1. 湿度传感器的概念 　　1） 湿度传感器的特性参数 　　湿度传感器的特性参数主要有：湿度量程、灵敏度、温度系数、响应时间、湿滞回差、感湿特征量-相对湿度特性曲线等。  　　（1） 湿度量程：它是指湿度传感器能够较精确测量的环境湿度的最大范围。由于各种湿度传感器所使用的材料及依据的工作原理不同，其特性并不都能适用于0～100%RH的整个相对湿度范围。 图10-20 TiO2-V2O5的感湿特性曲线 　　（2） 感湿特征量-相对湿度特性曲线： 湿度传感器的输出变量称为其感湿特征量， 如电阻、电容、击穿电压、 沟道电阻等。 湿度传感器的感湿特征量随环境相对湿度(或绝对湿度)的变化曲线， 称为传感器的感湿特征量-环境湿度特性曲线， 简称为感湿特性曲线。 性能良好的湿度敏感器件的感湿特性曲线， 应有宽的线性范围和适中的灵敏度。如图10-20所示是一种二氧化钛-五氧化二钒（TiO2-V2O5）湿度敏感器件的感湿特性曲线。 　　（3） 灵敏度：湿度传感器的灵敏度即其感湿特性曲线的斜率。大多数湿度敏感器件的感湿特性曲线是非线性的， 因此尚无统一的表示方法。 较普遍采用的方法是用器件在不同环境湿度下的感湿特征量之比来表示。例如，日本生产的MgCr2O4-TiO2湿度传感器的灵敏度是用一组器件电阻比表示的：R1%/R20%、R1%/R40%、R1%/R60%、R1%/R80%及R1%/R100%。 角标表示该阻值所对应的相对湿度。 如R1%表示相对湿度在1％时器件的电阻值。 　　（4） 湿度温度系数： 它定义为在器件感湿特征量恒定的条件下，该感湿特征量值所表示的环境相对湿度随环境温度的变化率， 即 (10-1) 因此，环境温度将造成测湿误差。 例如，α=0.3％RH/℃时， 环境的温度变化20℃，将引起6％RH的测湿误差。 　　（5） 响应时间： 它表示当环境湿度发生变化时， 传感器完成吸湿或脱湿以及动态平衡过程所需时间的特性参数。 响应时间用时间常数τ来定义， 即感湿特征量由起始值变化到终止值的0.632倍所需的时间。可见， 响应时间是与环境相对湿度的起、止值密切相关。由于器件的吸湿和脱湿响应时间是不一样的， 因此，在标明器件的响应时间时， 除指明起始和终止相对湿度外，最好分别注明吸湿和脱湿情况。在二者差别甚微时， 方可统一表示。 图10-21 Mn3O4-TiO2在80℃时的湿滞回线 　　（6） 湿滞回线和湿滞回差：一个湿度传感器在吸湿和脱湿两种情况下的感湿特性曲线不相重复，一般可形成为一回线，这种特性称为湿滞特性； 其曲线称为湿滞回线。如图10-21所示是Mn3O4-TiO2湿度传感器在80℃时的湿滞回线。  　　（7） 电压与频率特性：湿度传感器加热清洗的激励电压不能用直流，必须用交流。加热使温度升高，因此电压不能过高。传感器的感湿特征值与交流电压频率有关，因此电压的频率应有上限和下限。  　　除此之外，还应有使用条件、可靠性指标、稳定性、测湿精度、分辨率、使用寿命及加热清洗参数等。 2） 湿度传感器的分类 表10-10 湿度传感器的分类 　　3） 湿敏传感器的图形符号 　　湿敏传感器的图形符号如图10-22所示。对于半导体陶瓷湿敏传感器， 其图形符号代表电阻元件。对于多孔Al2O3湿敏传感器，其图形符号代表电阻RP和电容CP的并联。图中，A-A端为测量电极，B-B端为加热清洗电极。加热清洗电极通电后， 内部电加热丝产生热量可排除传感器感湿层中的水分子。 图10-22 图形符号 　　2.电解质湿度传感器 　　1） 无机电解质湿度传感器 　　典型的无机电解质湿度传感器是氯化锂湿敏元件。 其感湿原理为：不挥发性盐（加氯化锂）溶解于水，结果降低了水的蒸汽压，同时盐的浓度降低， 电阻率增加。氯化锂湿敏元件灵敏、准确、可靠。其主要缺点是在高湿的环境中， 潮解性盐的浓度会被稀释，因此，使用寿命短，当灰尘附着时， 潮解性盐的吸湿功能降低， 重复性变坏。目前，氯化锂湿敏元件有三类典型产品：登莫(Dunmore)式、浸渍式和光硬化树脂电解质湿敏元件。 典型氯化锂湿敏元件主要特性如表10-11所示。 表10-11 典型氯化锂湿敏元件主要技术特性 　　2） 高分子电解质湿度传感器 　　（1） 聚苯乙烯磺酸锂湿敏元件：此类元件是用聚