激光刻蚀法网格化热释电红外焦平面探测器的实验研究.pdfVIP

第 31卷 第7期 红 外 技 术 、，0l-3l NO．7 2009年 7月 InfraredTechnology July 2009 材料与器件 激光刻蚀法网格化热释电红外焦平面探测器的实验研究 杨 伟 ，彭信翰 ，张 骏 (1．烟台大学光电学院，山东 烟台 264005；2．深圳市木森科技有限公司，深圳 518102) 摘要：采用激光刻蚀的方法来实现非制冷热释电红外焦平面探测器的网格化，分别在空气中和碱溶液 中使用紫外激光对钛酸锶钡 (BST)材料进行划线，分析了溶液和激光参数的影响。使用KOH溶液作 为辅助介质时，获得了宽为81am，深约25ktm，边缘光滑，侧壁垂直度高的微槽，已满足了实际应用 要求。 关键词：激光刻蚀；紫外激光；BST；非制冷红外焦平面阵列 中图分类号：TN215；TN249；TG485 文献标识码 ：A 文章编号：1001—8891(2009)07-0373—04