激光测微头设计和研究.pdf

激光测微头的设计和研究 光学专业 研究生： 高志国 指导教师： 曹益平 摘要 激光测微头因其测量精度高、速度快、体积小、稳定、不接触被测物体的表 面等优点在测量物体尺寸和位移中被广泛应用，在工业产品在线检测中能有效 的减少人工测量的劳动强度，提高生产效率。所以研究如何提高激光测微头的 测量精度和速度有很高的实用价值。 CCD电荷耦合器件是获取物体信息的重要器件。CCD电荷耦合器件是20 世纪70年代初发展起来的新型半导体集成光电器件。近30年来，CCD器件在 图像传感和非接触测量领域的发展迅速。由于CCD具有高分辨、高灵敏、重 量轻、体积小、耗电少、寿命长、可靠性好、信号处理方便、易于与计算机接 口等优点，致使CCD光电尺寸测量的使用范围比现有的机械式，光学式测量 仪优越得多。基于线阵CCD的这些优点它被广泛用于光学三角法测量中，用 于物体的位移和尺寸的非接触检测。 论文主要完成的工作内容包括： 设计了采用点激光以及Lattice ISPl016在线可编程逻辑器件、MS．51系列 单片机、光学系统等组成的激光测微头总体方案。该激光测微头是光学、电学、 计算机技术相结合的产物。可用计算机对其进行控制测量，也可以设定为自动 测量，提高系统的适应能力，满足各种环境下的测量要求。 对系统的各个硬件部分进行了详细的分析和讨论，完成了激光测微头的样机 的研制。计算机可以从激光测微头中获取处理后的位置信息，也可从激光测微 头中获取CCD原始信息， 设计了一种光强自适应算法，使测微头具有自动调节功能，可以根据被测物 体的外部轮廓物理特征，改变CCD的积分时间，从而让系统可以在各种环境 下测量，提高测量系统的适用性。 着重分析了光斑随机噪声对测量精度的影响，通过大量实验数据分析，提出 了一种基于统计平均结合可靠性排序滤波算法，有效抑制了光斑随机噪声引起 的干扰。 最后对测量系统的改进提出了一些可行性建议。 ， 关键词：激光三角法、激光测微头、线阵CCD、可编程逻辑器件、单片机、 随机噪声 and ofLaser StudyDesign TriangularMeasuring Device MajorOptics Gao Can J Graduate：Zhi-guo Advisor：．n-pmg ’‘＼一 ．． Abstract its For of advantageshighprecision,fastspeed,portable size,goodreliability, uorl-．contad laser deviceis used measurement,the triangular measuringextemively insizeanddistancemeasurementand on-linee