声表面波惯性器件传感检测技术研究.pdf

西北工业大学博j．论文 摘 要 惯性传感器的品性是保证自主性惯性导航系统性能的重要因素。作为一种灵 敏度极高的传感器，深入研究声表面波(SurfaceAcoustic wave，SAw)惯性器 件的传感机理及其检测技术，不仅具有理论意义，而且具有工程实用价值。该论 文开展并取得的研究成果有两个方面。一个在悬臂梁式SAw加速度传感器方面； 另一个在SAw陀螺效应的探测理论和检测技术研究方面。 SAw加速度传感器方面 扼要地介绍了声表面波理论、声表面波叉指换能器(IDT)、声表面波谐振器 及sAw加速度传感器原理之后，分析了现有悬臂梁式SAw加速度传感器存在 的一些主要问题，并研究了针对它们的实际解决方案和工程设计原则。 论文在悬臂梁式sAIⅣ加速度传感器研究方面取得的具体成果有： 1．完成石英悬臂梁sAw加速度计的系统设计，提高了sAw加速度传感器测 量过程的敏感性、准确性及其工作性能； 2．利用浮动零点思想，不仅进一步抑制了温度等干扰因素对加速度计的影响， 而且降低了其加工制作的难度； 3．研究了阶跃加速度惯性力激励下，悬臂梁式SAw加速度计差频输出的动态 响应特征。改变了目前SAW加速度传感器理论研究中缺乏动荷栽激励_昕究的现 状，丰富了悬臂梁式SAW加速度传感器的研究理论； 4．用sAw滤波器为SAW加速度计增添了加速度方向判断功能，为其利用电 容器静电力保护悬臂梁和实时调整量程奠定了基础； 5．研究了阶跃加速度的测量技术和测量方案，改进了现有悬臂梁式SAw加速 度计的工作性能，设计出了可根据被测加速度大小实时调整量程的SAw加速度 计。 sAw陀螺效应检测技术研究方面 根据固体波动理论，论证了SAw陀螺效应的存在性。鉴于国外SAw陀螺 仪的研究现状、光学测量高精度的特点和近代声光物理学的成就，提出了利用声 光互作用布拉格衍射现象，探测和检测sAw陀螺效应的技术思想。SAW声光陀 螺的基本思想是通过声光相互作用，让光把寄载着陀螺效应的sAw信息从sAw 介质(同时也是声光介质)中携带出来，通过布拉格声光测量技术达到推测声光 介质旋转角速度大小的目的。 论文扼要介绍了声光布拉格衍射物理效应。基于超声波能够调制衍射光出射 角度的声光物理理论，从检测工程角度研究了SAW陀螺效应的声光探测和检测 方案。在sAw陀螺效应声光检测技术方面所做的具体工作及取得的研究成果有： 1．论证了SAW陀螺效应声光检测方案的可行性；分析了SAW陀螺效应的探 测原理及基本测量公式，讨论了SAw陀螺效应声光检测系统的设计准则； 陀螺效应声光检测的可行性； 3．提出了检测sAw陀螺效应布拉格衍射光微小角度及其变化的ccD检测方 - 案。讨论了ccD分辨率对整个测量系统微小角度分辨能力的影响，简要分析了 ccD测量系统的敏感度、灵敏度和微小角度的光学显微放大技术。 4．指出了SAW陀螺效应声光检测技术今后的主要研究方向。 总之，SAw介质旋转角速度对sAw波速的调制作用(即sAw陀螺效应) 表现为其对布拉格衍射角的调制作用。然而，理论计算表明声光布拉格衍射光的 偏转角度及其变化量很小(弧秒级)，所以能否实现对该微小角度及其变化量的 准确测量关系到SAw陀螺效应声光探测和检测方案的成败。 关键词： sAW加速度传感器；动态特性；探测和检测；浮动零点； S』W滤波器；SAw陀螺效应；压电一声光效应 II 西北工业大学博七学位论文 Abstract ofinertial isall fktor w№ The guidaIlce corulected quality apparatllsimponant of