金属有机溶液法制备钛酸铅铁电薄膜的若干问题研究.pdfVIP

摘 要 里381，77 本如金属有机物溶液沉积法制备钦酸铅铁电薄膜中存在的几个问题 开展工作护产乙义段}习一苦省 ‘}， (1)针对钦酸铅薄膜表面富铅现象，分别配置不同铅钦比的先体溶液制 备钦酸铅铁电薄膜，分析表面富铅与化学计量比偏离的关系以及化学计量 比偏离对薄膜成分结构的影响。份夕，卜热处理工艺是金属有机物热分解法 制备薄膜的关键步骤，薄膜制备通常采用多次成膜和温度预处理过程后进 行结晶热处翌。目前对湿膜热处理方法有快速热处理和传统慢速热处理两 种方法少本文通过采用不同热处理工艺对薄膜结构和性能的影响进行对比 分析，以寻求最佳的热处理工艺。 (乖统MOD法制备铁电薄膜，大多采用有机溶剂和有机物醇盐，溶 液的稳定性较差，极易水解，给薄膜的制备带来不便笋尝试采用水基热分 解法制备稳定的钦酸铅系先体溶液及铁电薄膜。通过选择合适的鳌合剂和 稳定剂使金属有机醇盐稳定后在水溶剂中形成均一稳定的先体溶液，分析 溶液的化学反应机理及薄膜的结构性能。 (3)薄膜的厚度对薄膜结构和性能有非常重要的影响，\p有达到一定的 厚度时，方可获得结构致密无针孔的薄膜，从而使薄膜的电学性能真实地 显现出来。目前，采用金属有机