半导体器件与工艺.pptVIP

本章内容 基本微波技术 隧道二极管 碰撞电离雪崩渡越时间二极管 转移电子器件 量子效应器件 热电子器件 现代半导体器件物理与工艺 武汉大学物理学院 微波二极管、量子效应和热电子器件 * 现代半导体器件物理与工艺 微波二极管、量子效应和热电子器件 * 武汉大学物理学院 微波二极管、量子效应和 热电子器件 现代半导体器件物理与工艺 Physics and Technology of Modern Semiconductor Devices 张 云 201XXXXXXXXXX 微波频率涵盖约从0.1GHz到3000GHz，相当于波长从300cm到0.01cm。 一般电子部件在微波频率与其在较低频率的工作行为是不同的。在微波频率时，需将分布效应列入考虑，因为在这些频率，波长约与部件的实际大小相当。 在微波频率，电容与电感常被看作为输运线的一部分。输运线也常被用作微波电路的互连线。输运线实际上是一个由电阻、电容、电感三种等效基本电路部件所组成的复杂网络。平面输运线是现代微波电路技术的主流。此输运线由位于表面接地的薄膜介电层衬底上的一个或多个平面导体所组成。 基本微波技术 下图显示好几个平面输运线基本的形式：微细长片、同平面波导 CPW 细长线和悬吊衬底细长线 SSSL 。 其中R是单位长度电阻，G是单位