真空泵常见问题59917.pptVIP

5.泵使用日久，真空度下降，可因泵油混入可凝性气体和泵油裂解变质以及橡胶老化所致，可用换油.换橡胶件方法逐一试验。 6.泵拆洗装配后，有大漏气声，可能是橡胶件装配不当.顺坏，应调整或更换。 7.排气阀片老化变形.顺坏或螺钉松脱，会出现异样排气和油面的显著泛动，也会影响真空度，应调整重装。 8.因泵温太高而使真空度，特别是全压强降低时，应加强冷却。 9.以上措施无效，无漏气声，可能是使用日久，零部件磨损或受腐蚀所致，也可能是转子变形，精度降低，甚至转子.旋片等零件损坏，应拆开检查，修正或调换新零件。 10.仪表失真，规管污染，引起误判，应校准比较，清洗或换新。 喷油.漏油及其消除方法： 喷油可因油位过高，油盒.挡油板松脱，装配不当所致，可逐一检查。 漏油可因油封弹簧脱落.磨损.放油螺塞和垫片损坏，侧盖垫片没垫好，气镇阀停泵后忘关等引起，可检查调整或调换。 罗茨泵及其原理示意图 罗茨泵与滑阀泵旋片泵组合 故障现象 可能原因 排除方法 真空度不高 1.管路.系统漏气。 2.泵部分漏气 3.前几真空漏气 4.润滑油太脏或牌号不符 1.管路.系统检漏 2.泵漏油 3.修或换前级泵 4.换润滑油 抽速不足 1.管道通导能力下降 2.前级抽速不足 1.换大管道 2.换前级泵 扩散泵内部水冷及外形图 扩散泵及水冷示意图 运转 1.启动 1.1 接通冷却水，确认冷却水的流量是否达到规定要求。 1.2 启动前级泵，当扩散泵泵口压力=10Pa后，才能启动扩散泵加热电源。 1.3 泵加热40~80分钟后，就进入正常工作状态。 2.停止 2.1 先关闭高真空阀门，然后切断扩散泵电源，前级泵继续工作。 2.2 当炉体内部温度降到 =60·的时候（用手可以接触的状态），可以停止前级真空泵。 注意事项 1. 像炉体内放气时，必须在泵油温度=60·时进行。油温度过高，会造成泵油氧化，导致泵性能下降。 放气时请从高真空端放气，避免损坏泵芯。如果不能从高真空端放气时，请保证小流量的缓慢放气。 。 2. 扩散泵在正常运行中遇意外停电.停水时，请按下面步骤处理： 2.1 切断电源 2.2 立刻关闭高真空阀门和前级真空阀 2.3 将电炉从泵底卸下，并移开。（注意安全，小心烫手！！！） 2.4 像泵底不淋水。注意：（水蒸气烫人！） 3.在停止作业后，扩散泵短期内不使用时，请将泵水冷管道中的水排出管道以外，同时用压缩空气将残余水分吹干，防止水冷管道腐蚀。 4.扩散泵工作一段时后，若发现真空度变坏，或抽速降低使系统恢复时间太长时，必须对泵清洗，更换泵油。 5.扩散泵应存放在温度为10·~35·.湿度不超过85%的通风良好的室内 炉体真空系统组合图 泵连接等注意事项 保证密封面不被划伤 保证密封圈干净 螺丝均匀对称向下拧 泵要放置平稳 泵油要按要求量加入 在启扩散泵后观察泵的三相电流（是否断路影响加热） 真空泵常见问题 扩散泵.罗茨泵.旋片泵.滑阀泵.；现在我们对相关问题进行讨论。 扩散泵 影响扩散泵性能的因素 1.扩散泵油蒸气的反流 扩散泵油蒸气的反流可归结为五种原因： *泵壁表面油膜和油滴的蒸发（如图1所示） *喷嘴喷出的高速油蒸气流碰到泵壁后的反射（如图2所示） *一级喷口表面的油膜及油滴的蒸发（如图3所示） *喷口边缘高速油蒸气流的散射（如图4所示 *室温下油沿泵壁的表面迁移（爬移)(如图5所示) 反流示意图 2.气体分子的反扩散 在扩散泵中，低真空端的气体分子总会进入高真空端，特别是某些质量较轻的气体，如氢.氦等反扩散比较大，其中氢的反扩散最大，可达10-3 mg/h，氮的反扩散较小，约为10-7 mg/h. 3.扩散泵油的裂化分解 扩散泵油分两种：矿物油，此种油稳定性及耐氧化能力都较差，在室温下的饱和蒸气压力10-5 pa ~ 10-7pa . 另一种是硅油，热稳定性及抗氧化性都较好，室温下的饱和蒸气压力10-6pa ~ 10-8pa . 在金属油扩散泵的锅炉中，由于高温.金属催化作用以及油爆发式沸腾，是高分子的有裂化成低分子的碳氢化合物及轻的气体(H2.CH4.C2H6等)。这些裂化后的氢和碳氢化合物的蒸汽压很高，限制了扩散泵的极限真空。 此外，机械泵油反流到扩散泵中，也产生分裂物，使扩散泵的真空受到影响。 4.真空泵的清洁度 清洗不干净的真空泵，污染物会留在泵中并重复循环，影响泵