网络状碳纳米管薄膜应变传感机理研究.pdfVIP

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2017-09-06 发布于安徽
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网络状碳纳米管薄膜应变传感机理研究.pdf

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Dissertation Submitted to Shanghai Jiao Tong University for the Degree of Master MECHANISM OF STRAIN-DEPENDENT CARBON NANOTUBE NETWORK SENSOR Candidate： Zhang Yan Student ID: 1072109023 Supervisor： Associate Prof. Cheng Xiulan Academic Degree Applied for ： Master of Science Speciality： Microelectronic and Solid Electronics Affiliation ： School of Microelectronics Date of Defence ： February, 2010 Degree-Conferring-Institution ： Shanghai Jiao Tong University 网络状碳纳米管薄膜应变传感机理研究摘要碳纳米管自 1991 年发现以来，就吸引了众多的科学家和研究学者的注意。碳纳米管由于其优异的物理、化学特性，成为传感器方面的应用的研究热点。碳纳米管因手性不同可呈现出金属性和半导体性，并且在应变下其电阻变化显著，可用于制作柔性的应变传感器。但是关于其应变机理的研究却很少有人涉及。本文首先回顾了碳纳米管的电学性能，然后计算并评估了应力对网络状碳纳米管薄膜力学和本征电阻各参数的影响，结合逾渗理论分析了碳纳米管薄膜的应变传导机理，建立了模型并推导了碳纳米管薄膜在应力下整体电阻变化率的计算公式，最后将理论计算结果与实验数据进行了比较验证，发现碳纳米管含量变化是引起薄膜电阻变化的关键因素。关键词：碳纳米管膜；电阻；应变；逾渗理论 I MECHANISM OF STRAIN-DEPENDENT CARBON NANOTUBE NETWORK SENSOR Abstract In recent years, significant progress in understanding the physics of carbon nanotube electronic devices and in identifying potential applications has occurred. It has been well document