纳米梁谐振器测试与表征方法研究.pdf

中文摘要 本论文在调研和分析NEMS测试技术研究现状的基础上，确定以一种重要 的NEMS器件一纳米梁谐振器为测试对象，以原子力显微镜(AFM)和显微 激光多普勒测振系统为测试平台开展NEMS力学特性和动态特性技术的研究， 并将测试结果作为评价NEMS加工工艺和器件性能的依据。论文主要完成了以 下几个方面的工作： l、从方法的类别、应用领域、研究现状和发展趋势等方面系统地调研了 NEMS力学特性测试技术及动态特性测试技术的概况，分析和讨论了NEMS力 学特性测试及动态特性测试在NEMS加工工艺评价中的重要性。 2、针对广泛应用的扫描电镜和台阶仪测量纳米厚度方法中存在的破坏性和 近似性的局限性，提出了一种基于AFM的弯曲测试技术实现纳米梁厚度精密测 量的方法，使用单晶硅双端固支梁为测试对象进行了厚度测量，并采用纳米压痕 仪进行了比对测试。 3、建立了双端固支梁杨氏模量和残余应力的弯曲测试模型，针对同一工艺 流程下相同杨氏模量和残余应力的双端固支梁阵列，提出了将拉曼频移测试与 AFM弯曲测试相结合的实验方案，并将应力刚化理论应用到几何非线性有限元 分析中用于弯曲测试模型理论误差的评价手段。 4、建立了静电激励双端固支梁的工艺相关电学模型、机械模型和下拉电压 模型，并全面分析了双端固支梁结构的动态响应。 5、建立了存在残余应力的双端固支梁的谐振频率模型，并以显微激光多普 勒测振系统为实验平台测量了钨．碳化硅双层固支梁结构的幅频响应特性，随后 采用数值迭代方法和有限元模态分析相结合的实验数据处理方案计算了测试结 构的残余应力分布，并对相应的加工工艺进行了评价。 6、建立了AFM的轻敲力模型以及轻敲模式和轻敲力曲线模式下AFM测振 系统的物理模型，在此基础上论述了AFM测振方法的可行性和工作带宽。以 AFM为实验平台测量了钨．碳化硅双层固支梁器件的幅频响应特性，将显微激光 多普勒测振系统的比对测试结果与AFM测振系统的物理模型计算结果相结合， 对AFM轻敲模式和轻敲力曲线模式离面振动测试技术的测量误差以及误差来源 进行了评定。 关键词： 原子力显微镜显微激光多普勒弯曲测试离面振动测试厚度测量 杨氏模量残余应力 ABSTRACT tomedetailed onNEMS According inVestigationtestingtechniques，rcsearch workis focusedonNEMSmechanicaland based finally dynamictestingtechniques atomic micr0-laserVmrationmeasuremem on force S_tem， microscope锄dDoppler sy deViceofnanobeamresonatoras NEMS testingobject．Testing tal(ing锄impo砌nt resultswillbeusedtoestimatethe NEMS andthe of specific process perf．omance of disse the NEMSdevices．Theresearch、Ⅳorkthe rta_tion includes mainly following aspects： 1．The situationofNEMSmechanicaland import锄ce锄dgen