利用双低温缓冲层和插入应变超晶格技术制备高质量InP-on-GaAs复合衬底的MOCVD生长.pdfVIP

第 卷 第 期 半 导 体 学 报 ２９ １０ 犞狅犾．２９ 犖狅．１０ 　 　 　 　 　 　 年 月 ， ２００８ １０ 犑犗犝犚犖犃犔犗犉犛犈犕犐犆犗犖犇犝犆犜犗犚犛 犗犮狋．２００８ 犌狉狅狑狋犺狅犳犎犻犺狌犪犾犻狋犐狀犘狅狀犌犪犃狊 狌犪狊犻犛狌犫狊狋狉犪狋犲狊犝狊犻狀 犇狅狌犫犾犲 犵 犙 狔 犙 犵 犔狅狑犜犲犿 犲狉犪狋狌狉犲犅狌犳犳犲狉狊犪狀犱犛狋狉犪犻狀犲犱犔犪犲狉 狆 狔 犛狌狉犲狉犾犪狋狋犻犮犲狊犫 犕犗犆犞犇 狆 狔  ， ， ， 犣犺狅狌犑犻狀 犚犲狀犡犻犪狅犿犻狀 犎狌犪狀 犢狅狀 犻狀 犪狀犱犠犪狀 犙犻 犵 犵 犵狇 犵 犵 （ ， ， 犓犲犔犪犫狅狉犪狋狅狉狅犗 狋犻犮犪犾犆狅犿犿狌狀犻犮犪狋犻狅狀牔犔犻犺狋狑犪狏犲犜犲犮犺狀狅犾狅犻犲狊 犕犻狀犻狊狋狉狅犈犱狌犮犪狋犻狅狀 狔 狔 犳 狆 犵 犵 狔 犳 ， ， ） 犅犲犻犻狀 犝狀犻狏犲狉狊犻狋狅犘狅狊狋狊犪狀犱犜犲犾犲犮狅犿犿狌狀犻犮犪狋犻狅狀狊 犅犲犻犻狀 １００８７６ 犆犺犻狀犪 犼犵 狔 犳 犼犵　 ： （ ） 犃犫狊狋狉犪犮狋 犠犲犻狀狏犲狊狋犻犪狋犲狋犺犲 狉狅狑狋犺狅犳犐狀犘狅狀犌犪犃狊犮狅犿犫犻狀犲犱狑犻狋犺狋犺犲犪犱狏犪狀狋犪犲狊狅犳犱狅狌犫犾犲犾狅狑狋犲犿 犲狉犪狋狌狉犲 犔犜 犫狌犳犳 犵 犵 犵 狆 （ ） ／ 犲狉狊犪狀犱狊狋狉犪犻狀犲犱犾犪犲狉狊狌狉犲狉犾犪狋狋犻犮犲狊 犛犔犛狊．犐狋犻狊犳狅狌狀犱狋犺犪狋犔犜犐狀犘犔犜犌犪犃狊犱狅狌犫犾犲犔犜犫狌犳犳犲狉狊犪狉犲犿狅狉犲犲犳犳犲犮狋犻狏犲犳狅狉 狔 狆 ， 狊狋狉犪犻狀犪犮犮狅犿犿狅犱犪狋犻狅狀狋犺犪狀犪犔犜犐狀犘狊犻狀