Sigma-delta电容式微加速度传感器系统的研究.pdf

摘要 摘 要 微加速度传感器是删S的重要研究领域之一，在工业控制、环境监控、汽 车系统以及生物医疗诊断等众多领域有着广泛的应用。电容式微加速度传感器是 一种典型的MEMS产品，有关它的建模、仿真和优化设计研究，对于提高产品性 能、缩短研制周期、降低成本有着极为重要的意义。 本文基于国内外电容式微加速度传感器的结构特点，分析了微机械结构和闭 环微加速度传感器工作原理，研究了si舯a．delta调制技术，在此基础上建立了 对信号进行模数转换。同时调制器提供反馈信号，实现了电容式微加速度传感器 系统的闭环工作模式。本文对系统级非理想因素进行了详细分析。文中在sIMULINK 环境下构造了传感器系统的非理想因素模型，为了满足行为级对si肿a．delta电容式 微加速度传感器系统的仿真需要，建立了非理想情况下整体系统的仿真模型，并 且分别验证了单一非理想因素对系统的影响。仿真结果表明，考虑到所有非理想 因素的影响，最坏情况下，系统信噪比达到76dB，可以实现12位精度。 本文设计了二阶调制器具体电路结构。着重论述了调制器的关键电路工作原 理以及设计思想。基于O．35umCMOS标准工艺，设计了运算放大器、开关电容电路、 积分器、比较器、时钟产生等电路模块。通过HSPICE电路级仿真，验证了模块的 正确性。 文中所设计系统模型和调制器电路均达到设计要求，可以实现ug分辨率加速 度传感器的功能。 关键词：微机电系统微加速度传感器sigma．delta调制器 ABSTRACT ABSTRACT Mlcro-accelerometerSareoneofthe researchareasin the lmportant MEMS，with illtheareassuchaSiIldustrial widelyapplication control，enViromental moIlitorin蜀 automotiVealldbiomedical micro—macllined syst锄s diagnostics．The c印acitive accelerometerisa MEMS TheresearchbaSedon typical its product． modeling， simulation舭d is for optiIIlizationVery me importam perf．omlanceimproving， the azld t11ecost． shortemngdeVelopmentpedodlowering The of the of deVelopment c印acitiVemicro-accelero】net％principle the micr0一machined， micr0一accelerometera11d is closed一100p sigma-deltatechnology