玻璃和柔性衬底上氧化铟锡薄膜特性的对比研究.pdf

第 卷 第 期 液 晶 与 显 示 ， ２４ ３ Ｖｏｌ．２４Ｎｏ．３ 　 　 　 　 　 年 月 ， ２００９ ６ ＣｈｉｎｅｓｅＪｏｕｒｎａｌｏｆＬｉｕｉｄＣｒｓｔａｌｓａｎｄＤｉｓｌａｓ Ｊｕｎ．２００９ ｑ ｙ ｐ ｙ 文章编号： （ ） １００７２７８０２００９０３０３８９０４ 玻璃和柔性衬底上氧化铟锡薄膜特性的对比研究 １ １ ２ １ １ １ 王 新 ，向 嵘 ，任新光 ，李 野 ，姜德龙 ，端木庆铎 　 　 　 （ 长春理工大学 理学院，吉林 长春 ， ： ； １． １３００２２ Ｅｍａｉｌｗａｎｘｉｎ９７１２４１ ａｈｏｏ．ｃｏｍ．ｃｎ 　 ｇ ＠ｙ ２．中国科学院 长春光学精密机械与物理研究所 激发态物理重点实验室，吉林 长春　１３００３３） 摘 要：对采用磁控溅射方法生长在玻璃和柔性聚对苯二甲酸乙二醇酯（ ）塑料上的氧 ＰＥＴ 　 化铟锡（ ）薄膜的结构、光学和电学特性进行了对比研究。在两种不同的衬底上均得到了 ＩＴＯ 不分相的、高质量的多晶 薄膜，其中生长在玻璃衬底上的 薄膜（ ）衍射峰的半峰 ＩＴＯ ＩＴＯ ００２ 宽为 ，生长在 衬底上的为 。两种样品在可见光区都具有很高的透过率，其中 ０．２４° ＰＥＴ ０．２８° 玻璃衬底上生长的薄膜的透过率约为 ， 上生长的薄膜的透过率高达 。两种薄 ９２％ ＰＥＴ ８７％ 膜均具有良好的导电性，玻璃衬底上薄膜的电阻率为 －４ · ，柔性 衬底上薄 ４．２×１０ Ω ｃｍ ＰＥＴ 膜的电阻率为 －４ · 。实验结果证明，完全可以采用磁控溅射的方法在柔性衬底 ４．７×１０ Ω ｃｍ 上生长出高质量的ＩＴＯ薄膜。 关 键 词：氧化铟锡；磁控溅射；射线衍射；透光率；电阻率 ｘ 　 　 中图分类号：ＴＢ３４ 文献标识码：Ｂ 　　　 学特性又较差，很难解决生长温度和导电性以及 １ 引 言 　 　　 光学透过特性的制约关