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气体质量与体积流量控制器 适用于洁净气体 FMA-2613A ， 图片小于实际尺寸。 FMA-2601A ， FMA-2600A 系列 图片小于实际尺寸。 该控制器采用连接到流体的真正比例阀，通过一体化 PID回路控制器控制流体。标准设备包括0 ~ 5 V输出 （可选4 ~ 20 mA ）和RS232通讯。可通过前面板键 盘或RS232通讯调整气体选择功能和设定值。体积 U 20多种气体校准，包括氦气、氧气、氖气、 流量、质量流量、绝对压力以及温度均可以通过 一氧化二氮、氮气、大气、氩气、一氧化 RS232连接查看或记录。同时，在距离为46 m (150’) 碳、二氧化碳、甲烷