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31 5 Vol. 31 № . 5
第 卷第 期 哈 尔 滨 工 程 大 学 学 报
2010 5 May 2010
年 月 Journal of Harbin Engineering University
doi :10 . 3969 /j . issn. 1006 - 7043. 2010 . 05 . 011
MEMS 惯性测量组件的温度误差补偿模型研究
, ,
许德新 何昆鹏 梁海波
( , 150001)
哈尔滨工程大学 自动化学院 黑龙江 哈尔滨
: MEMS , MEMS 、
摘 要 为了减少温度对 惯性测量组件测量精度的影响 将 加速度计 陀螺的零偏和标度因数统一进行温
, , ,
度建模 再用非线性回归法辨识出模型中的各项参数 然后采用逐步回归分析法对模型进行优化 对优化的模型方程和
. ,
方程中各系数做进一步的显著性检验 对比温度误差补偿前后的试验结果表明 经过补偿后的加速度计和陀螺在全温范
10 mg 0 . 04 (°)/ s , , 10 ,
围内误差分别保持在 和 以内 尤其是低温时补偿效果明显 最大约 倍 验证了温度误差补偿方法的
. , , .
有效性 采用该补偿方法 能有效降低温度的非线性对精度的影响 从而提高全温范围的测量精度
: ; ; ; ;
关键词 惯性导航系统 惯性测量单元 微机械陀螺 逐步回归 温度误差补偿
中图分类号:U666. 16 文献标识码:A 文章编号:1006-7043 (2010)05-0607-07
Compensating for non-linear errors caused by
temperature changes in MEMS inertial measurement units
XU De-xin ,HE Kun-peng ,LIANG Hai-bo
(College of Automation ,Harbin Engineering University ,Harbin 150001,China)
Abstract :In order to compensate for temperature related errors in micro-electro-mechanical system (MEMS)iner-
tial measurement units (MIMUs),a temperature error model was built. The model combined zero bias and scale
fact
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