MEMS若干动力学问题的研究3.ppt

Vol. (V) 1st pair 2nd pair 3rd pair Min Max Min Max Min Max 100 0.05 0.0556 0.1139 0.1266 0.1346 0.1496 200 0.1 0.1111 0.2278 0.2532 0.2691 0.2991 300 0.15 0.1667 0.3418 0.3799 0.4037 0.4487 400 0.2 0.2222 0.4556 0.5064 0.5382 0.5982 接触应力 接触应变 4.3 微转子-固定轴承接触问题研究(Ⅱ) 4.3 微转子-固定轴承接触问题研究(Ⅲ) 微尺度效应的影响 接触压力 接触应力 接触应变 Captions: L ---Scale factor; C---Constant; 有限元模型 Rotor-to-bearing-hub FE model 4.3 微转子-固定轴承接触问题研究(Ⅳ) 接触压力、应力与应变 (a) (a) (b) (c) (b) (c) Notes: (a)---Von Mises stress (b)---Von Mises strain (c)---contact pressure Applied voltage U=100V 4.3 微转子-固定轴承接触问题研究(Ⅴ) 摩擦系数的影响 最大 Von Mises应力 最大接触压力 4.4 微转子系统碰摩动力学特性分析(Ⅰ) 动力学模型 碰摩力分析 微转子模型 碰摩力模型 4.4 微转子系统碰摩动力学特性分析(Ⅱ) 摩擦机理分析 Rough surface Multiple asperities Single asperity Numerical Fractal Statistical 4.4 微转子系统碰摩动力学特性分析(Ⅲ) 摩擦模型 库仑摩擦模型 微尺度分形摩擦模型 4.4 微转子系统碰摩动力学特性分析(Ⅳ) 运动学方程 碰摩状态 无碰摩状态 4.4 微转子系统碰摩动力学特性分析(Ⅴ) 无碰摩状态 稳定性与分岔行为 Routh-Hurwitz判据 特征方程 碰摩状态 分岔条件 特征方程 4.4 微转子系统碰摩动力学特性分析(Ⅵ) 稳定性与分岔行为分析 阻尼-频率比 摩擦系数-频率比 定转子间隙-频率比 注: (1) 稳定区；(2) 不稳定区；(3) 不稳定区，但解是稳定的 4.4 微转子系统碰摩动力学特性分析(Ⅶ) 非线性动力学行为 转速的影响 4.4 微转子系统碰摩动力学特性分析(Ⅷ) 偏心量的影响 微尺度分形摩擦模型 库仑摩擦模型 4.4 微转子系统碰摩动力学特性分析(Ⅷ) 阻尼系数的影响 4.4 微转子系统碰摩动力学特性分析(Ⅷ) 分形尺度的影响 (a) D=1.2; (b) D=1.6 4.4 微转子系统碰摩动力学特性分析(Ⅷ) 尺度长度的影响 4.5 微转子系统动力润滑特性研究 阶梯滑行轴承润滑特性分析 径向气体轴承润滑特性分析 A. 阶梯滑行轴承润滑特性分析(Ⅰ) For Kn0.001, the continuum hypothesis is appropriate and the flow can be analyzed using the Navier-Stokes equations For 0.001Kn0.1, rarefaction effects start to influence the flow Beyond Kn=0.1, the continuum assumption of the Navier-Stokes equations begins to break down For Kn10, the continuum approach breaks down completely and the regime can be described as being a free molecular flow A. 阶梯滑行轴承润滑特性分析(Ⅱ) 阶梯型轴衬示意图 静电微电机横截面示意图 阶梯滑行轴承模型 连续流区Reynolds方程 高阶滑流速度边界条件 滑流速度 修正的Reynolds方程 A. 阶梯滑行轴承润滑特性分析(Ⅲ) 修正的Reynolds方程 Non-dimensional flow rate versus the inverse Knudsen number A. 阶梯滑行轴承润滑特性分析(Ⅳ) Non-dimensional flow rate versus the inverse Knudsen number under the effects of gas