采用改进型多弧离子镀膜设备镀制装饰膜层的产业化研究.pdfVIP

78 采用改进型多弧离子镀膜设备镀制装饰膜层的产业化研究 采用改进型多弧离子镀膜设备镀制装饰膜层的 产业化研究 朱元义k3，朱常锋1，李力1。朱元术2 (1．广州市番禺双石钛金厂，广东广州511430； 2．佛山市双石钢业有限公司，广东佛山528251； 3．肇庆市双石金属实业有限公司，广东肇庆526238) [摘要]针对目前国内多弧离子镀膜领域存在的智能化水平不高和大颗粒污染问题，我们通过设备改进，增 加了可编程逻辑控制器和磁过滤器。以装饰镀膜中常用的二氧化钛膜为研究对象，对比了设备改进前后膜层 的性能。x射线衍射测试表明所制备的二氧化钛膜层为金红石相。改进后的设备制备的膜层基本看不到大颗 粒的存在，且膜层的绿色更加鲜艳。同时，由于设备的智能化水平提高，使得产品的性能非常稳定，随机抽取的 5个样品不论从外观看还是通过反射率测试，性能几乎一样。 [关键词] 多弧离子镀；二氧化钛；大颗粒；反射率；重复性 成金属蒸气，并在蒸发源与工件之问的周围空间产生 1前言 等离子体放电，形成等离子体放电区，使金属蒸气和