7离子镀TiTiN纳米多层薄膜显微硬度影响.pdfVIP

第41卷 第10期 金属学玫 V61．41NO．10 ACTAMETALLURGICASINICAOct．2005 2005年10月1106—1110页 PP．1106～1110 脉冲偏压对电弧离子镀Ti／TiN纳米多层薄膜 显微硬度的影响 ：Ic 赵彦辉t) 林国强，，z) 李晓娜-，。) 董闯·) 闻立时·，。) 1)大连理工大学三束材料改性国家重点实验室，大连116024 2)大连理工大学物理系，大连116024 3)中国科学院金属研究所，沈阳110016 摘要 采用脉冲偏压电弧离子镀方法在高速钢基体上沉积Ti／TiN纳米多层薄膜，采用正交实验法设计脉冲偏压电参数，考察 脉冲偏压对Ti／TiN纳米多层薄膜显微硬度的影响．结果表明，在所有偏压参数(脉冲偏压幅值、占空比和频率)和几何参数(调