离子束溅射沉积不同厚度铜膜的光学常数研究.pdfVIP

维普资讯 第 26卷 第 6期 光 学 学 报 Vo1．26，NO．6 2006年 6月 ACTA OPTICA SINICA June，2006 文章编号 ：0253—2239(2006)06—0943—5 离子束溅射沉积不同厚度铜膜的光学常数研究* 范 平 邵建达 易 葵 齐红基 范正修 ，1深圳大学理学院，深圳 518060 、 ＼2中国科学院上海光学精密机械研究所 ，上海 201800／ 摘要： 利用 Lambda-900分光光度计对离子束溅射沉积不同厚度 Cu膜测定的反射率和透射率 ，运用哈德雷方程， 并考虑基片后表面的影响，对离子束溅射沉积的Cu膜光学常数进行了计算。结果表明，在同一波长情况下，膜厚 小于 100nm 的纳米 Cu膜光学常数随膜厚变化明显；膜厚大于 100nm后 ，Cu膜的光学常数趋于一定值 。Cu膜不 连续时的光学常数与连续膜时的光学常数随波长变化规律不 同；不同厚度的连续膜 的光学常数随波长变化规律相 同，但大小随膜厚变化而变化 。 关键词 ： 薄膜光学；光学常数 ；铜膜 ；离子束溅射 中图分类号：0484．4 文献标识码 ：A OpticalConstantsofIonBeam SputteringDepositedCopperFilms ofDifferentThickness FanPing’ ShaoJianda YiKui QiHongji FanZhengxiu ／1SchoolofScience，ShenzhenUniversity，Shenzhen518060 、 ＼2ShanghaiInstituteof OpticsandFineMechanics，theChineseAcademyofSciences，Shanghai201800／ Abstract： Thereflectivityandtransmittanceofionbeam sputteringdepositedCufilmsofdifferentthicknesshave beenmeasuredbyLambda一900spectrophotometer．UsingHadleyequations，atkingintoaccountthecorrectiondueto theback surface ofthe substrate．the opticalconsatntsofion beam sputtering deposited Cu filmshave been calculated．Theresultsshow thattheopticalconsatntsofCufilmsforthesamewavelength changeevidentlyalong withthicknessifthefilm thicknessiSIessthan 100am ，butreachaceratinvalueifthefilm thicknessiSbiggerthan 100am ．Therelationshipbe tweentheopticaIconsatntsofdiscontinuousCufilmsandthewavelength iSdifferentfrom thatofcontinuousCu films．The relationship be tween hte optiac Iconsatnts ofcontinuousCu filmsofdifferent thicknessandhtewavelengthiSsimilar．butthevaluesoftheoptiacIconsatntsaredifferent． Keywords： thinfilm optics；optica