立方型Ti-B-N的光学性质的计算.pdfVIP

维普资讯 第 28卷 第 2期 光 学 学 报 VoI．28，No．2 2008年 2月 ACTA 0PTICA SINICA February，2008 文章编号 ：0253—2239(2OO8)O2—0398—05 立方型Ti．B．N的光学性质的计算 牛建钢 赵五洲 高 巍 王翠表 孙维连 ／河北大学质量技术监督学院，河北 保定 071001、 ＼河北农业大学机电工程学院，河北 保定071001／ 摘要 立方型TiBN材料的光学性质对于深刻理解 TiBN薄膜材料 的光学性质 ，以及监测和控制 TiBN薄膜材料的 生长过程起着重要作用 。使用基于密度泛函理论 的平面波超软赝势方法计算 了立方型 TiBN 的电子结构和光学性 质，给出了电子态密度、介电常数、吸收系数、反射力、折射系数 、消光系数等计算结果，并对计算结果作了分析。态 密度图显示，存在源于B的2 态的态密度峰，分析认为这对立方型TiBN的光学吸收造成了明显影响。同时还计 算 了立方型 TiBN的色度坐标 ，并根据计算结果对工艺参量与 TiBN薄膜材料色度坐标之间的联系作出了分析。 关键词 薄膜光学 ；TiBN；光学性质 ；第一性原理 中图分类号 0484．4 1 文献标识码 A CalculationsonOpticalPropertiesofCubicTiBN NiuJiangang ZhaoWuzhou GaoWei WangCuibiao SunWeilian 。CollegeofQualityandTechnicalSupervision，HebeiUniversity，Baoding，Hebei071051，China 、 ， ＼MechanicalandElectronicEngineeringCollege，HebeiAgricultureUniversity，Baoding，Hebei071001，China／ Abstract TheopticalpropertiesofcubicTiBN iS importantforunderstandingopticalpropertiesofTiBN films． monitoringandcontrollingthegrowthofTiBN films．OpticalpropertiesofcubicTiBN were investigatedbyusing plane．waveultrasoftpseudopotentialmethodbasedondensityfunctionaltheory．Electronicstatesdensity，dielectric function，absorption coefficient，reflectance，refractive index，and extinction coefficientof cubic TiBN were calculatedandanalysed．densityofsattesresultsdemonstratesthattherearepeaksthatattributedtothe2P statesof B，whichiSconsideredtohaveasubstantialeffectontheopticalabsorptionpropertiesofcubicTiBN．Meanwhile。the colorimetriccoordinates ofcubic TiBN were calculated．based on which the corelations between colorimetric coordinatesofTiBN filmsandtechnologicalparameterswereanalysed． Keywords thinfilm optics；TiBN；opticalproperties；firstprincip