我国建成新一代计算电容装置.pdfVIP

张袄字等：金属镀层厚度测量结果的一致性研究 层 内部不可避免地存在空洞和孔隙，镀层的宏观密度(致 同样应对电镀、化学镀、离子镀等不同工艺条件下得到的 密度)也不可能达到金属的理论密度。因此，利用商品化 镀层厚度测量结果一致性开展深人研究，以进一步验证 的厚度标准片进行仪器校准后测量实际镀层样品时必然 x荧光测厚仪的测量准确性；对于 x荧光测厚仪工作 曲 会产生误差，这种误差主要取决于镀层实际密度与理论 线的校准，应建立基于受检样品实际工艺条件下的厚度 密度的差异。 “GB／T16921—2005／ISO3497—2000金属 标样校准体系，才能有效保证测量结果的准确性。 覆盖层 覆盖层厚度测量x射线光谱方法”标准中提出在 参考文献 利用x荧光测厚方法进行镀层厚度i见0量时，应根据镀层 [1]杨华，董世运，徐滨士 ．涂镀层厚度检测方法的发展现状及展望 [J]．材料保护，2008，41(11)：34—37． 的真实密度对实际测量值进行修正。目前尚未有较为方