Ⅱb型宝石级金刚石的表征及半导体特性研究 Studies on characterization and semiconductor properties of type Ⅱb large diamond.pdfVIP

李尚升等：Ⅱb型宝石级金刚石的表征及半导体特性研究 Ⅱb型宝石级金刚石的表征及半导体特性研究’ 李尚升1，刘书强3。，李小雷1，宿太超1，肖宏宇2， 马红安2，罗 宁1，王利英1，贾晓鹏1’2 (1．河南理工大学材料科学与工程学院，河南焦作454000； 摘 要： 利用温度梯度法在高温高压国产六面顶 了较大进展№]。目前国内外大多数学者都侧重于研 压机上成功合成出尺寸达4ram的优质Ⅱb型宝石究利用化学气相沉积法获得含硼金刚石薄膜，而对 级金刚石。利用显微红外吸收光谱对所合成的黄 高温高压合成的颗粒状含硼金刚石研究则较少，因 色、无色及蓝色宝石级金刚石的氮、硼杂质进行了测 此在工业中被做成半导体元器件得到推广应用的只 试。通过对比分析认为所合成的除氮、掺硼蓝色宝 有金刚石薄膜；普通掺硼金刚石单晶因为颗粒小，不 石级金刚石为Ⅱb型。利用四探针法和霍尔效应法 宜加工，所以半导体性能的开发受到限制[6-8]。因此 对不同掺硼量所合成的IIb型宝石级金刚石半导体 作为大尺寸掺硼宝石级金刚石单晶(直径lmm) 性质进行了测试；总结了掺硼量与金刚石半导体性 的研究就显得尤为重要[9’10|。 质之间的变化关系；分析认为硼的添加对IIb型宝 上述提到的掺硼金刚石都同时含有氮杂质，氮 石级金刚石的半导体特性的变化起到了决定性作 杂质会对硼的掺入及半导体特性产生影响。添加除 用。 氮剂的同时添加硼所合成的IIb型宝石级金刚石的 关键词： 高温高压；硼；IIb型宝石级金刚石；温度 半导体特性更加突出，因此本文在Ⅱa型宝石级金 梯度法；半导体特性 刚石大单晶研究的基础上[1卜13]，利用温度梯度法在 中图分类号：0782．2：TQl64．8文献标识码：A 高温高压下腔体内添加除氮剂的同时添加单质硼合 文章编号：1001—9731(2010)增刊I一0165—03成出蓝色优质Ⅱb型宝石级金刚石大单晶，并利用 显微红外吸收光谱对该金刚石进行了表征，同时对 1 引 言 所合成的Ⅱb型宝石级金刚石的半导体特性进行了 金刚石的分类由氮、硼杂质的含量来决定：I型 研究。 的含氮金刚石和Ⅱ型的不含氮金刚石。I型中依氮 2 实 验 存在方式不同又分为聚集态的Ia型和弥散态的I b型；Ⅱ型中又分为无掺杂的IIa型(含氮量1× 金刚石合成实验在SDP6×1200型国产六面顶 10_6)和掺硼的Ⅱb型¨3|。天然金刚石中的98％为压机上进行。实验组装腔体示意图如图1。高温高 Ia型，Ⅱ型金刚石在其中只占很少比例，而天然Ⅱ b型金刚石储量更少，在Ⅱ型中约占千分之一。再 为优质六八面体单晶，生长面{111}。以高纯石墨为 加上Ⅱb型金刚石具有禁带宽，迁移率高，导热性能 碳源，FeNiCo合金为触媒，在腔体内加入一定含量 好和耐腐蚀等特点。因此，Ⅱb型金刚石是一种很 的除氮剂Ti／Cu、不同含量的单质硼来进行合成实 有发展前途的耐高温、大功率的半导体材料，它特别 验。合成的宝石级金刚石样品经强酸处理后得到。 适合于制造高性能电力电子器件，可以在更高的温 度和恶劣的环境下正常工作。IIb型金刚石的研究 变时电阻的突变所建立的油压和腔体内实际压力的 具有重要意义H曲]。 定标曲线进行标定，温度是根据Pt6％Rh／Pt30％ 掺硼金刚石是P型半导体，由于B的原子半径 Rh热电偶测定的输入功率与温度的对应曲线进行 较小易于进入金刚石，因此含硼金刚石的研究取得 标定[14|。合成压力约5．5GPa，籽晶处温度控制在 ·基金项目：国家自然科学基金资助项目；河南理工大学博士基金资助项目(648403) 收到初稿日期：2010-02—22 收到修改稿日期：2010—03—