高热稳定性测风Fabry-Perot干涉仪标准具的设计 Design of thermal stable Fabry-Perot etalon for wind measurement.pdfVIP

高热稳定性测风Fabry-Perot干涉仪标准具的设计 Design of thermal stable Fabry-Perot etalon for wind measurement.pdf

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第21卷第5期 光学精密工程 V01.21No.5 andPrecision 2013年5月 Optics Engineering 2013 May 文章编号 1004—924X(2013)05—1167一07 高热稳定性测风Fab 孙 剑¨,冯玉涛1,白清兰1,王咏梅2,汶德胜1 (1.中国科学院西安光学精密机械研究所,陕西西安710119; 2.中国科学院国家空间科学中心,北京100039) 角度(材料、形状和固定方式)分析了标准具的热稳定性,并给出最优设计方案。通过对光学元件结构尺寸的优化设计, 得出了F—P标准具光学元件的最佳形状尺寸,即平板厚度为25mm,间隔元件的角度为40。。采用柔性结构固定方式,计 算了F-P标准具机械结构的形状尺寸。最后基于有限元法,分析了光学组件和整个标准具的热变形。分析结果显示,当 环境温度变化0.1℃时,光学组件平板中心间隔变化量为0.64nrn,整个标准具平板中心间隔变化量为0.28nm,通光口 径边缘处间隔变化量为0.2 250和A/3 nm,相对于波长A为630nm的气辉光谱线约为a/2 150,并且平板间隔变化量沿 着径向向外逐渐减小。得到的结果显示,优化设计后的结构参数满足风速为5m/s时测量精度对热稳定性的要求,同时 满足力学性能要求。 关 键词:F-P干涉仪;标准具;测风;热稳定性;优化设计;结构设计 中图分类号:P4】4.7:TH744.3文献标识码:A doi:10.3788/OPE1167 ofthermalstable etalonforwind Design Fabry—Perot SUN Jianl’,FENGYu—ta01,BAI Qing—lanl,WANGYong—mei2,WENDe—shen91 institute andPrecision (1.Xi7an ofOptics Mechanics, Chinese 7an Sciences,Xi710119,China; Academyof 2.NationalScience Center,Chinese 100039,China) Space AcademyofSciences,Beijing *Correspo九dingauthor,E-mail:sunjian@opt.ac.cn considerationO{theeffectOfthermal O{a inthesatel— Abstract:In stabilityFabry—Perot(F—P)etalon lite—borneF—Pinterferometeronwind thethermal oftheF— measurement,this paperanaly

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