基于免形状测量模式的复杂形状测量机设计 Design of measuring machine for complex geometry based on form-free measurement mode.pdfVIP

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2017-09-03 发布于湖北
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基于免形状测量模式的复杂形状测量机设计 Design of measuring machine for complex geometry based on form-free measurement mode.pdf

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第33卷第6期仪器仪表学报 V01．33No．6 2012年6月 ChineseJournalofScientificInstrument Jun．2012 基于免形状测量模式的复杂形状测量机设计宰石照耀，张斌，林家春 (北京工业大学机械工程与应用电子技术学院北京100124) 摘要：为了高精度高效率地测撼数学模型未知的复杂几何形状。介绍了“免形状测量模式”，分析了该测量模式对仪器的基本要求，基于该模式设计了一台移动工作台式测量机。测餐机以直线电机为驱动元件，以高精度长光栅为测量元件。为减小被测件重量对测量机的影响，设计了封闭式真空负压的空气静压气浮导轨和共平面的H形二维结构。设计了具有制动功能的z轴 ITimx300 和气浮膈振等关键部件。仪器量程为300 lI胂，能测量数学模型未知的复杂几何形 mill×300一，测量不确定度为1．8 状。关键词：免形状测量；气浮导轨；共平面结构；直线电机中图分类号：TB92文献标识码：A 国家标准学科分类代码：460．4030 of machinefor geometry Designmeasuring complex measurementmode basedonform．free Shi Jiachun Zhaoyao，ZhangBin，Lin and Electronics ofMechanical Appt曲a of (CoRe Engineering Technology，seiji,增University measure withoutnominalmathematics measurementmode’’is Abstract：To models．a“form-free complexgeometries gre fixed itsbasic for machine columnstructurecoordinate introduced，and requirementsmeasuring analyzed．A machinewith and Was basedonthenovelmode．Themachineisdriven measuring hi【shaccuracyefficiencydesigned linear Rreused[18measurementdevices．Todecreasetheinfluenceofwork- by motors，andhi曲accuracygratings closedaerostaticwithvacuum and帅Htwodimensionalstructureare pieceweight．a bearing preload style CO-planar balancedaxisZ withbrakefunctionis avi