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* 第 6 章　电子探针显微分析 电子探针（Electron Probe Microanalysis-EPMA）的主要功能就是进行微区成分分析。它是在电子光学和X射线光谱学原理的基础上发展起来的一种高效率分析仪器。 其原理是：用细聚焦电子束入射样品表面，激发出样品元素的特征X射线，分析特征X射线的波长（或能量）可知元素种类；分析特征X射线的强度可知元素的含量。 其镜筒部分构造和SEM相同，检测部分使用X射线谱仪，用来检测X射线的特征波长（波谱仪）和特征能量（能谱仪），以此对微区进行化学成分分析。 JXA-8100/8200 Electron Probe Microanalyzer Detectable element range 5B to 92U 4Be to 92U *1 Detectable wavelength range 0.087 to 9.3nm Number of WDS X-ray spectrometers 1 to 5 selectable full scanner type Specimen size maximum 100mm × 100mm × 50mm H *2 ? 90mm × 90mm *2 Specimen stage drive speed 15mm/s *2 Accelerating voltage 0.2 to 30kV 0.1kV steps Probe current range 10-12 to 10-5 A Probe current Ip stability ±0.5 × 10-3/h, ±3 × 10-3/12h Secondary electron image SEI resolution 6nm WD11mm, 30kV Backscatt ered electron image BEI Topography and composition image Scanning image magnification × 40 to 300,000 WD11mm ? Workstation Sun Ultra 10 series *3 Disk 20GB Color monitor 21-inch display For host computer 17-inch display For SEM Application software EPMA operation, qualitative, expert qualitative, semi-quantitative, quantitative, calibration curve, line, area, automated continuous, combination map, initial setting, file search, utility Operating system Solaris *3 UNIX *4 Language C *1: When the optional X-ray dispersion elements for Be are used.*2: When the High Speed Large Specimen Stage is used.*3: Sun Ultra and Solaris are registered trademarks of Sun Microsystems, Inc.*4: UNIX is the name of an operating system developed by AT T. Principal Specifications 6.1 电子探针仪的结构与工作原理 6.1.1 波长分散谱仪（波谱仪WDS） 6.1.2 能量分散谱仪（能谱仪EDS） 6.2 电子探针仪的分析方法及应用 6.2.1 定性分析 6.2.2 定量分析 6.1 电子探针仪的结构与工作原理 结构如图所示，可以分为三大部分：镜筒、样品室、和信号检测系统。 镜筒和样品室部分与SEM相同。 信号检测系统是X射线谱仪，对微区进行化学成分分析： 波长分散谱仪或波谱仪（WDS），用来测定特定波长的谱仪； 能量分散谱仪或能谱仪（EDS），用来测定X射线特征能量的谱仪 要使同一台仪器兼具形貌分析和成分分析功能，往往将扫描电镜和电子探针组合在一起。 6.1.1 波长分散谱仪（波谱仪WDS） 1．工作原理 已知电子束入射样品表面产生的X射线是在样品表面下一个um量级乃至纳米量级的作用体积发出的，若该体积内含有各种元素，