压氦法和预充氦法氦质谱细检漏固定方案de设计.pdfVIP

第6期 ．fr目鼋；纠J薯f碍宪阪学瓤 V01．8No．6 2013年 12月 JournalofCAEIT Dec． 2013 工 程 与 应 用 doi：10．3969／j．issn．1673—5692．2013．06．020 -、 石 _、 石 ＼ ；＼ 压氦法和预充氦法氦质谱细检漏固定方案的设计 王庚林，李 飞，李宁博，刘永敏 (北京市科通 电子继电器总厂有限公司，北京 100041) 摘 要 ：以 “氦质谱细检漏的基本判据和最长候检时间”为基础，分析 了密封 电子元器件 内部水汽 不超过5000ppm的可靠贮存寿命，确定了细漏检测的严密等级丁 i分级，界定和拓展了适用内腔 容积并进行了分段，设计了压氦法和预充氦法的固定方案，验证 了固定方案规定的最长候检时间可 以满足去除吸附氦的要求。从而突破 了国内外相关标准改进 中难 以或无法实施的技术瓶颈，为加 严密封性判据改进相关标准，提供 了可行的技术方案。 关键词：氦质谱细检漏；严密等级T ；最长候检时间；压氦法固定方案；预充氦法固定方案；-L-除吸附氦 中图分类号 ：TB42 文献标识码 ：A 文章编号 ：1673．5692(2013)06~56—05 FixedSchemeDesignofHelium MassSpectrometricFineLeakDetection forPressingHelimu MethodandPr efillingHelium M ethod WANG Geng—lin LIFei，LINing—bo，LIU Yong—rain ， (BeijingKeytoneElectronicRelayCorporationLtd．，Beijing100041，China) Abstract：Basedonthetheoryof“basecriterionandmaximum dwelltimeoffineleaktestusingtheheli- um massspectrometerleakdetector”，thereliablestoragelifewithaninternalwatervaporcontentnolar— gerthan5，000ppm isanalysed，and then givestherigourgrade H… ．Itdeterminesandextendsthe availablecavityvolume，whichisdivided intodifferentsegmentsaccordingtherigourgrade．Thefixed schemeforpressinghelium methodandprefillinghelium method isdesigned，validatingthatthemaxi— mHm dwelltimeruledinfixedschemecansatisfytherequirementofrremovingadsorbedhelium．Thebot— tleneckwhichishardlyactualized canbebroken throughwithimproved standards，which providesthe availabletechnologyschemeofrimprovingtherelativestandardsandtherigidsealabilitycriterion． Keywords：helium mass spectrometric fine leak detection；rigourgrade 下H ；themaximum dw