硅太阳能电池研究_3.pdfVIP

国防科学技术大学研究生院学位论文 第三章 EFG 带状硅太阳电池 无论使用 Cz 法（直拉法）或 FZ 法（悬浮区熔法）制备单晶硅太阳电池硅片，还是 使用浇铸法制备多晶硅太阳电池硅片，都要经过切割工序，这个切割工序的直接后果是在 硅片表面留下了切割损伤，为了祛除这个切割损伤，还要使用磨片和刻蚀两道工序来处理 切割损伤。这种做法无形中增加了两种成本，一个是处理成本，另外一个是材料成本。这 显然与追求低成本的光伏技术是矛盾的。如果能避免这个切割工序，那么就可以避免这种 材料浪费和工序成本。带状硅生长技术就是一种直接生成硅片的方法，没有切割工序。在 各种带状硅生长技术中，EFG 法（edge-defined film-fed growth ）是主要技术，应用广泛。 §3.1 EFG法的原理 EFG 法（定边喂膜生长法），是美国泰克-拉勃拉-特里芝公司为制造蓝宝石（即氧化 铝）的棒、管和板等型材研究出的一种方法。它作为能直接从硅的熔融液中连续生长，得 到任意形状断面晶体的一种出色方法受到人们的重视。 EFG法是利用毛细管现象来拉伸带状晶体的[14] 。它使用石墨材料做成的毛细管模具， 把这个模具放置在硅的熔融液体中，由于毛细管现象，熔融液上升。如果把籽晶浸到该熔 融液中开始拉引，则熔融液就浸润到毛细管上端。如图 3.1 所示。当熔融液到达模具上端 的外边缘时，由于表面张力的作用，它既不会洒落也不恢复原状，而进行正常的生长。 EFG法的特征在于毛细管模具上端形成的薄膜特性。薄膜的下端被具有浸润性的毛细管模 具牵制，上部被固化了的晶体牵制。 图3.1 EFG 法生长带状晶体硅原理 _______________________________________________________________________________________________________ 第 17 页 国防科学技术大学研究生院学位论文 §3.2 EFG法的特点 1. 由于使用毛细管模具，硅熔融液的表面和晶体生长界面被明显分离。坩埚的温度变化 对晶体生长的影响很小。所以，可以向熔融液里不断的补加原料。 2. 根据毛细管原理，在表面张力作用下，被吸引到模具上端的硅熔融液薄膜保持在模具 边缘上，使晶体生长的断面形状在模具顶端的边缘能被准确、稳定地控制。晶体生长 的形状与原料坩埚的形状无关，仅取决于模具。因此，如果排列放置多个模具，就可 [14] 以同时得到多条晶体 。 3. 可以选用较高的生长速度。 4. 省去了造成原料浪费的切割工序和花费较大的研磨加工等成型工序，可以直接得到希 望尺寸形状的硅片。 §3.3 EFG带状硅片的性质 §3.3.1 结晶性 EFG法拉制的带状晶体硅，不能说是单晶，但它也不是杂乱无章晶粒的结合。稳定生 长的带状晶体硅的结构是由与拉伸方向平行、互相并排的直线状的连续晶界所形成[14] 。 如图 3.2 所示。这种直线状缺陷主要是由双晶体组成，而且其中有些是与位错有关的双晶 体界面。 图3.2 带状硅片的结构 除了双晶体和位错之外，第三种缺陷是渗入到硅带中的SiC颗粒，或者是SiC颗粒的聚 合体[14] 。碳的引入是因为使用了石墨模具。在高温下，当模具材料浸在硅熔融液中时， 碳原子就会缓慢的向硅熔融液中溶解，进而转移到带状硅晶体内部。 _______________________________________________________________________________________________________ 第 18 页 国防科学技术大学研究生院学位论文 §3.3.2 电特性 带状晶体硅中的缺陷，是由