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第19 卷第1 期 粉末冶金材料科学与工程 2014 年2 月 Vol. 19 No. 1 Materials Science and Engineering of Powder Metallurgy Feb. 2014 氮气含量对射频磁控溅射法制备的AlN 薄膜 微观结构与力学性能的影响 1 1 1, 2 1 1 1 1 余志明 ，刘丹瑛 ，魏秋平 ，张雄伟 ，龙 芬 ，罗嘉祺 ，王一佳 (1. 中南大学 材料科学与工程学院, 长沙 410083; 2. 中南大学 粉末冶金国家重点实验室，长沙 410083