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25 卷 1 期 中 国 生 物 医 学 工 程 学 报 Vol. 25 No. 1
2006 年 2 月 Chinese Journal of Biomedical Engineering February 2006
等离子体预处理对 316L 不锈钢EVAL 界面结合强度的影响
袁 媛 尹 民 尹志岚 刘昌胜
(教育部生物材料工程研究中心 , 华东理工大学生物材料研究所 ,上海 200237)
摘 要 : 研究了 Ar 、N2 及 Ar + N2 等离子体预处理对 316L 不锈钢与其表面 EVAL 涂层之间结合强度的影响。采用
全反射 FTIR 、AFM 测试研究了等离子体预处理前后 316L 不锈钢表面物化状态的变化 ;利用 X光电子能谱研究了
316L 不锈钢与 EVAL 涂层之间的界面反应。研究结果表明 :Ar 、N2 及 Ar + N2 等离子体预处理后 ,316L 不锈钢与
EVAL 涂层之间的结合强度分别高达 092MPa 、12MPa 、15MPa (未经处理的试样为015MPa) 。全反射FTIR 和AFM
分析结果表明 Ar 、N2 等离子体均对基体表面有较好的清洗作用 ,Ar 等离子体对基体表面具有较强的轰击、刻蚀作
用。XPS 测试表明 EVAL 在经 Ar 等离子体处理的基体表面仅以物理吸附状态存在 ,推测与 N2 等离子体处理的基
体之间形成了 metalNO 形式的氢键结合。
关键词 : RF 等离子体 ; 316L 不锈钢 ; EVAL ; 结合强度
Improvement of the Bonding Strength between
EVAL and 316L Stainless Steel by RF Plasma Treatment
YUAN Yuan YIN Min YIN ZhiLan LIU ChangSheng
( Engineering Research Centerfor Biomedical Materials of Ministry of Education , Institute of Biomaterials ,
East China University of Science and Technology , Shanghai 200237)
Abstract : In order to enhance the adhesion of EVAL on 316L stainless steel , the substrate was pretreated by low
frequency RF plasma. The influence of different gas plasma (Ar plasma , N plasma , two steps including Ar and N
2 2
plasma) on the bonding strength was investigated. The results indicated tha
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