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硕十学化论文 支持概率的光刻热点修复数据的存储管理 摘要 在目前快速发展信息时代，4i确定数据的地位和作用越来越大。XML的半 结构化、自描述性好及可扩展性高等许多优点，使其在概率数据表示上与关系 概率模型相比较占优势。 本文将概率数据库的概念引入到实际工作中，对实际T作中的一种用于交 换光刻热点数据的文件格式进行改进，从而解决现有的工具运行时间过长等问 题。 out)之前消除设计规则检查(Design 越来越多的客户要求在流片(tape Rule Check，简称DRC)错误和光刻热点(1ithographyhotspots)。为了达到 这个日的。我们公司去年提出一种基于XML的文件格式…一光刻热点修复数据 T具产生，然后布线T具根据该文件的信息去修改 文件，该文件是由Signoff 版图，从而修正复杂的DRC错误和光刻热点。该文件包括错误描述，和若T种 修正指导建议，这些修正指导建议4i保证能够修复对应的错误，也就是说每一个 建议都有一定的成功概率，我们的布线T具会根据这些建议依次试下来，这样 有很多随机性，最差的情况是每一个错误都要试着修正很多次，对运行时间以 及内存消耗都有很大影响，当然我们可以要求这些修正建议要按照成功概率依 次排列，这样T．具就有可能节省运行时间以及内存消耗，但是这样带来的问题 是很难进行插入操作。 为了克服以上缺点，本文提出了将光刻热点修复数据文件改进成用概率 XML描述，给每一种修正建议付上概率值，从而达到改进运行时间及内存消耗 的日的。实验结果表明对于绝大部分design，运行时间和内存消耗都有改进。 同时本文研究了将光刻热点修复数据映射到对象模型的规则和方法，根据 XML Schema到对象类的映射关系，进而将支持概率的光刻热点修复数据保存到 我们的数据库中，该方法方便，直观，为将来光刻热点修复数据文件的扩充提供 有力的支持。 关键词：概率，XML，光刻热点修复数据文件，存储管理 中图分类号：TP3 硕}：学化论文 支持概率的光刻热点修复数据的存储管理 Abstract Uncertaindataaremoreandmore and inthemodern popularimportant withthe relationalmodels，theXML’S applications，Comparedprobabilistic suchas and advantagessemi-structured，SeIf_descr_p“On higherscalability make moresuitableinthedata and Itbecome expressionstorage． Inthis introduceoneXMLformatfile Interfacefor r，I XIRM(XML pape Route isusedto data first， Modification)whichexchangelithographyhotspots andbasedon newXIRMtosolve probabilisticconcept，propose