第一章概论(1).pdfVIP

Xi’an Jiaotong University WBGS 微电子制造技术 概述 张景文 Thursday, March 15, 2012 Xi’an Jiaotong University WBGS 半导体器件物理与工艺研究什么？ 研究半导体器件中电子或空穴的运动规律，如何通过“能带裁剪工 程 “(构造特定形状的势垒结构)来控制载流子(电子、空穴)的运动，使其 载流子的运动行为满足特定的要求。以及在在不同器件结构下，研究其 不同方面的电性能和光性能。 Xi’an Jiaotong University WBGS 为什么要学习该课程？ 身为一个电子科学领域的学生，你可能会自问: 为什么要学习这门课程？？？？？？？？ Xi’an Jiaotong University WBGS 理由很简单 自从1998年以来，电子工业是世界上规模最大的工业，其全球销售量超过 一万亿美元。而半导体器件正是此工业的基础。另外，要更深入地了解电子学的 相关课程，拥有半导体器件的最基本的知识是必要的，它也可以使你对现代这个 由电子技术发展而来的信息时代有所贡献。 1980－2000年的全球国民生产总值（WGP ）及电子、汽车、半导体和钢铁工业的销售量，并外插此曲线到2010年止 Xi’an Jiaotong University WBGS 半导体工业的核心是什么？ 从上图中可以得知： 电子工业和半导体工业已经超过传统的钢铁工业、汽车工业，成为21世纪的 高附加值、高科技的产业。电子工业的高速发展依赖于半导体工业的快速提高， 而在半导体工业中其核心是集成电路（电集成、光集成、光电集成），集成电路 在性能、集成度、速度等方面的快速发展是以半导体物理、半导体器件、半导体 制造工艺的发展为基础的。 核心是：集成电路 【Integrated Circuit：IC】 通过一系列特定的平面制造工艺，将晶体管、二极管等有源器件和电阻、电 容等无源器件，按照一定的电路互连关系，“集成”在一块半导体单晶片上，并 封装在一个保护外壳内，能执行特定的功能复杂电子系统。 半导体器件物理为其提供了基础知识，是半导体工业的发展平台。 Xi’an Jiaotong University WBGS DRAM Xi’an Jiaotong University WBGS 微处理器的运算能力 Xi’an Jiaotong University WBGS 不同技术随时间的成长曲线 Xi’an Jiaotong University WBGS NVSM Xi’an Jiaotong University WBGS IC的战略地位 集成电路的战略地位首先表现在当代国民经济的“食物链”关系。 进入信息化社会的判据：半导体产值占工农业总产值的0.5% 。 Xi’an Jiaotong University WBGS SIA 据美国半导体协会（SIA）预测 GDP≈50万亿美元 电子信息服务业 30万亿美元 相当于1997年全世界GDP总和 电子装备6-8万亿元 2012年