二次压电效应对压电石英测力仪测量精度影响的研究.pdfVIP

二次压电效应对压电石英测力仪测量精度影响的研究1 1，2 1 1 史丽萍 ，孙宝元 ，钱敏 1 大连理工大学机械工程学院（116023） 2 黑龙江大学（150080） E-mail: shlp1971@163.com 摘 要：压电石英测力仪在测量车削与磨削力等场合有着广泛的应用。组成压电石英测力仪 的核心元件是压电石英力传感器。本文应用四类压电方程推导了二次压电效应的理论公式， 并由石英叠堆构成被测晶体进行了二次压电效应的实验。通过理论与实验，可以证明石英晶 体在一定的边界条件下，通过二次压电效应对弹性常数产生影响，二次压电效应可使压电石 英晶体的弹性刚度常数c11 变大，弹性柔顺常数s11 变小。显然，二次压电效应的存在将直接 影响压电石英测力仪的力电转换效率与测试精度。因此，二次压电效应的研究对进一步提高 压电石英测力仪的测试精度与位移分辨率将做出重大的贡献。 关键词：二次压电效应、石英测力仪、弹性常数 1. 前言 压电石英磨削测力仪主要用于机械工程、材料工程、自动控制及测试等领域。压电石英 磨削测力仪在测量磨削力等场合有着广泛的应用。高固有频率的磨削测力仪，即固有频率高 于 180kHz 的测力仪，可以用来测量模拟单个沙粒的瞬态磨削力。高精度、高度自动化和可 靠的磨削过程需要准确的在线测量系统来支撑。而由压电石英晶片所设计的压电磨削测力仪 在测量磨削力的过程中起着非常重要的作用。 压电力传感器为压电磨削测力系统的核心元件。压电测力传感元件的原理主要是依据正 压电效应。在众多的压电材料中选择石英晶体作为设计压电测力仪的材料，是因为石英晶体 具有较高的力电转换率和转换精度，线性范围宽，重复性精度高，滞后小以及自振频率高等 特性，是其他压电材料所无法相比的。 2 ．理论分析 由压电石英晶片所设计组装成的压电测力仪，其主要的性能指标为传感器的灵敏度与分 辨力的大小。一般情况下，组装后的传感器的灵敏度总要比组装前的石英晶组的灵敏度要低 一些。这是由于传感器的弹性环节在力的传递过程中吸收了一部分能量，致使实际作用在晶 组上参加转换的力值比作用在传感器承载面上的外力要小一些，即所谓的分载作用。 F F +F （1） C T j 式中：FC —作用在传感器承载面上的被测外力；FT —消耗在传感器弹性环节上的力； 1 本课题得到高等学校博士学科点专项科研基金（项目编号：20010141006 ）资助 - 1 - F —实际作用在晶组上的力。 j 作用在晶组上的力F ，并不是被测力F 的全部，消耗在弹性变形环节上的F 力并不 j C T 参加力电转换，F 愈大，则F 愈小，传感器灵敏度就愈小，转换效率就愈低。该分载作用 T j 是设计传感器时，由石英晶片以外的原因引起的，本文不讨论FT 的产生原因以及数值大小。 本文考虑的重点是实际作用在晶组上的力F 是否全部参加了力电转换，即二次压电效应对