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第 卷 第 期 原 子 与 分 子 物 理 学 报 ，
17 3 Vol.17 № .3
年 月 ，
2000 4 CHINESEJOURNALOFATOMICANDMOLECULARPHYSICS Jul. 2000
文章编号： （ ） 长春“全国原子分子物理与高压物理、高压合成学术讨论会”论文
1000-0364200003-0556-03 99
型立方氮化硼的欧姆接触的制备✷
N-
王成新，高春晓，张铁臣，刘洪武，李 迅，邹广田
（吉林大学超硬材料国家重点实验室，长春 ）
130023
摘要 ：文内报告了尺寸为 2 的立方氮化硼单晶的 型掺杂，然后用特殊的测量装
0.3*0.3mm N-
置测量了 型立方氮化硼的欧姆接触之后的伏 安特性。
N- -
关键词：立方氮化硼；欧姆接触；异质结
中图分类号： 文献标识码 ：
O475 A
1 引言
立方氮化硼是一种纯人工合成的 族超硬材料，自 年， 采用高温高
Ⅲ~Ⅴ 1957 Wentorf
［］
压方法人工合成立方氮化硼 1 之后，科学家们对它的性质进行了广泛的研究，发现有许多
［］
优异的物理、化学性质。例如，在空气中 1300࠷ 的情况下其化学性质不变 2 ，它是 Ⅲ~ Ⅴ
［］
族中禁带宽度最大的化合物，其禁带宽度大于 6.4eV 3 ，这就有可能用立方氮化硼制备出
高温光、电器件。
由于立方氮化硼的尺寸较小，它的电学特性报导得较少，例如，迁移率至今未见报导。
［］
但是，铍掺杂的 型立方氮化硼以及硫或硅掺杂的 型立方氮化硼已见报导 4 。
P- N-
［］
用传统的高温、高压方法已制备出立方氮化硼的同质高温 结 5 。但是
O.Mishima P-N
［］
没有制作欧姆电极。进到 年， 等人 6 首次制作成功了金刚石薄膜／立方
1994 T.Tomikawa
氮化硼异质结，并制作了欧姆电极，且测试了它的伏 -安特性。由于受当时
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