一种微静电开关非线性动力学.pdfVIP

摘要 微型电子机械系统(MEMS)中存在多种非线性因素，如微机械元件的几何非 线性、所用特殊材料的非线性，磁场力与气隙的非线性等等，往往导致基于线 性动力学的设计失效。初步研究表明：非线性对微机械电子系统动力学行为有重 要的影响。然而，由于相关的研究不多，非线性因素到底在多大程度上影响MEMS 系统的性能，有何特点和规律等问题，仍有待进一步研究。这也是本文的研究 宗旨之所在。现将本论文总结如下： 1．阐述了MEMS在国内外研究状况，列举了MEMS实际应用研究成果，指出 MEMS发展过程中存在的若干问题，总结了微静电MEMS的若干性能评价指标。 2．给出有关多尺度法和奇异性理论的基本知识，讨论了MEMS系统的建模。 在对现有几种具有典型结构的微静电开关模型的分析基础上，考虑机械、静电、 气隙方面的非线性因素，建立了一种具有代表性的微静电开关模型作为本文的 研究对象。 3．从数值和理论两个方面研究了上面所选的微静电开关系统的单模态非线 性动力学。导出系统单自由度非线性运动方程(保留到三阶非线性)，用多尺度 法求的平均方程；用奇异性理论讨论了系统的定态分岔，得到外激励电压的频 率m．“wo／3时系统中存在的各种分岔．对方程进行了数值计算，发现倍周期分 岔和逆倍周期分岔发生在外加电压频率m．足够小。振幅口0足够大处。 4．从数值和理论两个方面研究了所选MEMS系统双模态非线性动力学。证明 了系统正交性的条件；导出了系统双自由度非线性运动方程(保留到三阶非线 性)，利用多尺度法求的平均方程；用奇异性理论讨论了方程在非内共振时当外 激励电压的频率矾zW．f4且v。=0的共振情况下的分岔，发现此时系统中有比 较复杂的分岔现象发生。用数值方法分析了静电激励变化导致的分岔，可以发 现倍周期分岔、逆倍周期分岔同样发生在频率m。足够小，振幅％足够大处。 5．文章最后对全文工作进行了总结，并讨论了以后应做的工作． 关键词：微电子机械系统(MEMS)，分岔，菲线性 Abstract There are in nonlinearfactorsexistMicro—electromechanical many systems of foroe material，electrostatic (MEMS)．suchas：nonlinearitygeometric，special and Oftenleadtotheinvalid basedon force．that squeeze．filmdamping design 1inear researchindicatesthat hasa dynamics．The nonlinearityveryimportant effectonthe behaviorofMEMS thereiSnot dynamical system．Becauseenough much thatthe factorsinfeCtthe of research，how degree nonlineary perforHlance MEMS characteristicandtheorderlinessexistedinitshouldbe system．what studiedmore．Thisisthe ofthis mai