＂制备的非晶薄膜的光致蓝光发射.pdfVIP

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2017-09-02 发布于重庆
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＂制备的非晶薄膜的光致蓝光发射.pdf

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第卷第期年月物理学报 # # $$= # ，，， 3BQ 7# *B 7# R5S $$= （） !$$$2=($M$$=M# $# M !2$# N0N F-O+P0N +P*P0N !$$= 0D,: 7 FDSI 7 +BG 7 !#$% 制备的非晶’() * 薄膜 ! 的光致蓝光发射! !） !） !） !） !）许圣华辛煜宁兆元程珊华黄松）） !）陆新华项苏留陈军 !）（苏州大学物理系薄膜材料实验室，苏州 !#$$% ））（苏州大学分析测试中心，苏州 !#$$% ）（年月日收到；年月日收到修改稿） $$ !’ $$ !$ !’ 使用稀释的与作为前驱气体，利用微波电子回旋共振等离子体化学气相沉积（）方法 ($ ) * +,- . /012034 ’ 制备了非晶氮氧化硅薄膜（）红外吸收光谱的结果表明，薄膜主要由和键的两相结 5 6 +,. * 7 52+,. * +,2.2+, +,2* ! ! 构组成，在存在氧流量的情形下，薄膜主要成分是相，而在无氧流量的情形下，薄膜则主要是相使用 +,. +,* 7 ! ! # 8%#93 的紫外光激发，发现+,. * 薄膜出现了位于’%$:; 的光致蓝光主峰，且其发光强度随着氧流量的降低而显