共路激光干涉测量系统的研究.pdfVIP

学术论文 黪 h上海计量测盍弋 匿黧黧 +t-路激光干涉测量系统的研究* 王丽华／天津大学精密仪器与光电子工程学院 激光干涉测量系统在精密测量领域 占有重要地位，它对温度变化、大气变化、激 光波长变化、机械安装误差和外界振动等比较敏感，影响系统的测量精度和稳定性。 针对此情况，该文提出一种新型的激光干涉光路，两光臂呈完全共路结构，使干涉条纹 信号具有极强的抗干扰能力；对光路进行抗干扰分析和理论推导；构建位移测量系统， 进行系统测试实验和误差分析。实验表明，本系统测量分辨力O_72nm，合成标准不确 定度5．2nm(k=2)，运行速度056mm／s，量程0．01mm。 关键词 光路设计；精密测量 ；纳米级位移：激光干涉 ：共路原则 0 引言 度都非常高，其 中雷尼绍的RLE系统激光尺系统最高 激光干涉仪在精密测量领域 占有重要地位 ，是纳 分辨力可达到 38．6pm。国内也有不少单位开展该领域 米测量 的重要T具。 自从 20世纪 60年代以来 ，由于 的研究。影响干涉系统测量程度和稳定性的主要原因 激光的出现和电子技术的日益成熟，使激光干涉仪得 是激光干涉光路对温度变化 、大气变化 、激光波长变 到大力发展和广泛应用 ，因有非接触测量 、很高的灵 化和外界振动等比较敏感 ，要提高测量精度，需要从 敏度和精度等优点，可用于扫描探针显徽镜的研制 、 测量系统的源头上消除或减少测量误差。本文提出一 微~．tU3H丁 、半导体电子生产线 、航空航天等领域。 近 种新型的激光干涉光路 ，两光臂呈完全共路结构，使 年来，国外很多科研丁作者投入激光干涉测量领域的 干涉条纹信号具有极强的抗干扰能力。 研究，并不断取得突破和进展，开始迈向亚纳米测量 1 激光干涉光路设计原理 时代 0]I-I6]o如 日本产业技术综合研究院的MarikoKajima 激光干涉光路是在激光偏振干涉仪的基础上进行 等利用飞秒光梳研制变焦激光干涉仪 】，采用独特干 改进，将激光多普勒技术与激光偏振干涉测量技术相 涉光路设计进行间接定位，使实际测量分辨力达到30 结合，形成独特的光路结构。共路激光干涉光路如图 1 pm，测量精度为 1．311111，在 500nm的动态范同内线性 所示 度为 10FII~I，用于超精密定位系统。俄罗斯科学院的 V．P．Tichinsky等进行动态相位显微镜的研究 f，分辨力 为50pm，在0．05—200nnl探测范同内表现 良好的线 性和无滞后特点，可作为SPM和TEM的扫描单元。美 国国家标 伟『技术研究院 (NIST)的JohnLawall等研制高 精度外差激光干涉仪作为测量标定基准 l，利用数字信 号处理 (DSP)技术使测量分辨力达到9pm。国外激 光干涉仪著名商家有英同雷尼绍 (Renishaw)，德 国海德 汉 (HEIDENHAIN)，日本索尼制造系统公司等，产品精 平移台 ·一 X轴方向移动 图1 共路激光干涉光路 ；OiH：困引 究( )资助项羔口0R 火浙 用 “前Ⅲ术研 干I涉光u丁学系，J、统L由激1从光u器口H、、偏¨振K分J光儿镜见‘、、反射刁J镜、、 09JCZDJC23600 2 内统一号r， a_目lIll2l_ 、¨ ^M }rMc i^、￡){S }“_ 学术论文 翻鬻 甓 豳 上海计量测试 导体激光器，波长为532FIIYI，发散角为0．5mrad，工 涉条纹的质量和完成信号的处理，实现条纹信号的辨 作距离50111，功率为0～5mw可调。由于位移测量过 向和计数功能，从而精确测量被测件的微位移。 程与入射光的波长无关 ，激光波长的微小变化不会影