智能微系统力学中的几个问题.pdfVIP

第 12 卷 第 2 期 . 12　 . 2 石 家 庄 铁 道 学 院 学 报 V o l N o 1999 年 6 月　　　　 Jun. 1999 JOU RNAL O F SH IJ IA ZHUAN G RA ILW A Y IN ST ITU T E 智能微系统力学中的几个问题 赵亚溥 ( 中国科学院力学研究所　北京　100080) 【摘要】微电子机械系统( ) 和集成微电子机械系统( ) 近年来的蓬勃发展将 M EM S IM EM S 为力学学科注入新的活力并为其提供难得的发展机遇。智能微系统力学是研究智能化微系统 ( ) 包括 、 和 等 中所涉及到的力学问题, 所研究的尺度一般在 M EM S IM EM S M O EM S m Sub m 或以下, 是微尺度力学和微电子学、物理学、自动控制、精密机械学、摩擦学等的交叉学科。 从力学的角度综述了智能微系统力学的特点、所涉及的主要研究领域和目前的一些热门研究 问题。 【关键词】 　智能微系统力学　力学测试　 　流动控制 M EM S CAD 【分类号】33 O 1　前言 诺贝尔物理学奖获得者 ( ) Feynm an 费曼 教授于 1959 年, 在美国的物理学会年会上, 发表了著名的 “ ”的演讲, 该文不但预示了制造微小器具技术的出现, 而且文中的 T here’s P len ty of Room at the Bo ttom 一些涉及微机械机理的观点至今仍是该领域的重要研究课题。Feynm an 教授还于 1983 年, 在 Ch ltech 的 “喷气推进实验室”做了题为“ ”的报告。在报告中预示了多种新的技术: 如用牺牲 Infin itesim al M ach inery 层方法制造硅微马达、静电致动的应用, 并指出了微机械中摩擦和接触粘附的重要性等一系列重要问题。 Feynm an 教授的上述两篇报告, 不但被文献[ 1, 2 ]重新全文刊登, 而且还被国外近期的有关M EM S 专著 ( 作为经典文献在篇首全文登载。在 1988 年, 、 和 报道了他们制造的头发丝直径大小 100 Fan T ai M u ller m ) [ 3 ]