金属有机物化学气相沉积生长的.pdfVIP

第 卷 第 期 年 月 物 理 学 报 J %$$( ， ， ， MD- .J +D . ,?=?9X %$$( （ ） #$$$63%($I%$$(IJ $ IJ$J6$’ ,NH, SFYZ[N, Z[+[N, #%$$( N:8 . S:\9 . ZDC . 金属有机物化学气相沉积生长的 （ ） ! !!# 面$% 三角坑缺陷的消除研究! ! 许晟瑞 张进城 李志明 周小伟 许志豪 赵广才 朱庆伟 张金凤 毛 维 郝 跃 （西安电子科技大学微电子学院，宽禁带半导体材料与器件教育部重点实验室，西安 #$$#） （ 年 月 日收到； 年 月 日收到修改稿） %$$ #% ’ %$$ #% ( 用金属有机物化学气相沉积方法在 面蓝宝石上生长了非极性 面 薄膜，通过采用 多量子阱插入 ! )*+ ,-)*+ 层，得到了高质量的非极性 材料 用原子力显微镜和高分辨 射线衍射仪研究了 面 的表面形貌和结晶 )*+ . / )*+ 质量，发现非极性材料上典型的三角坑缺陷被消除，（ ）面 射线双晶摇摆曲线的半峰宽为 ## %$ / 0$1 . 关键词： ，原子力显微镜，高分辨 射线衍射仪，非极性 )*+ / ： ， ’()) %$2 30$4 比），使三角坑缺陷完全消除，实现了高质量的非极 性材料 通过高分辨 射线衍射仪（ ）和原 #E 引 言 . / FQ/QO 子力显微镜（ ）分析了材料的结晶质量和表面 ,GK )*+ 以及 — 族氮化物在光电子和微电子领 形貌. ! 域中的研究都取得了巨大的进展 这种材料可以在 . 高温和比较恶劣的环境下工作，具有广阔的应用前 % E 实 验 ［，］ 景，是目前研究的一个热点# % . 常规的)*+ 是在极 性面 面上生长的， 基 的出色性能主要 # )*+ FG2H 本文研究的 面 材料采用 技术在