微悬臂谐振传感器闭环接口和嵌入式频率电路.pdfVIP

咧 S器件与技术 MEMSDevice Technology ：娃l丢 暑li誊 镦悬臂谐振传感器闭环接13和嵌入式频率电路 甘小华，刘 民，于海涛，许鹏程，李昕欣 (中国科学院 上海微系统与信息技术研究所 传感技术国家重点实验室，上海 200050) 摘要 ：设计 了谐振式微悬臂梁传感器闭环接 口和嵌入式频率读 出电路。首先，谐振式微悬臂粱传 感器和接 口电路组成 闭环 自激振 荡系统。为 了提 高该闭环 系统的频率稳定性和频率跟踪性能，引 入具有无相差频率跟踪的锁相环 电路 ，并设计放大移相电路 以满足闭环 自激振荡条件 。该闭环 系 统的频率稳定性可达 ±0．1Hz，并且能够实时跟踪悬臂梁谐振频率的变化。此外 ，单独设计 了 嵌入武的频率读出电路，用于检测并显示悬臂梁的谐振频率。将悬臂梁传感器、接 口电路和频率 读出电路集成在一起 ，做 出 了小巧便 携式样机 ，用该样 机 可成功探 测到体积分数低至约几个 1O 量级 的 DMMP气体 。 关键词 ：谐振式微悬臂梁传感器 ；接 口电路 ；锁相环；嵌入式频率电路 ；频率跟踪 中圈分类号：TP216；TN74；TN751．2 文献标识码：A 文章编号：1671—4776 (2010)06—0350—07 Closed-·Loop InterfaceandEmbeddedFrequency CircuitforM icro-CantileverSensors GanXiaohua，LiuM in，Yu Haitao，XuPengcheng，LiXinxin (StateKeyLaboratoryofTransducerTechnology，ShanghaiInstituteofMicrosystemand formationTechnology，ChineseAcademyofSciences，Shanghai200050，China) Abstract：A closed-loop interfaceand embedded frequencyreadoutcircuitforresonantmicro～ cantileversensorswasdesigned．Firstofall，theresonantmicro—cantileversensorandinterface circuitwerecombined to form aclosed—loop self—excited oscillation system． To enhancethe frequencystabilityandfrequency trackingcapacityofthesystem ，thefrequency trackingphase lockloop (PLL) circuitwithfixedphasedifferencewasintroduced，andtheamplifierandphase shifterweredesigned to meetthe conditionsofthe closed—loop self-excited oscillation． The system possessesfrequencystabilityashighas ±0．1Hzandshowsexcellentresonantfrequency tracking performance． In addition， an embedded frequency readout circuit was specially designed，whichcouldbeusedfordetectinganddisplayingthecantileverresonantfrequency． By integration ofthemicro—cantilever sensor， interface circuitand frequency readout circuit，a portableprototypemachinew