表面与界面物理之期末考试论文--京波.docVIP

《固体的表面与界面》期末考试作业 姓名1： 徐京 学号1：200907120055 姓名2： 关洪波 学号2：200907120050 论文题目： 出现电势谱（APS） Appearance Potential Spectroscopy  出现电势谱Appearance Potential Spectroscopy Abstract：Due to the interaction between particle beam and the surface of material , a wealth of information will be produced. such as electron, photon and ion, their emission can be used as the basis of surface analysis. Electron beam energy can be precisely controlled by the accelerating voltage, it’s focus method is simple,and solid material has a strong effect on the electron beam,what’s more, the inelastic scattering between them can be effectively detected and calculated by the various instruments, electron beam analysis equipment is more simple than the ion beam equipment.Therefore, the electron beam has become one of the most conventional method . Appearance potential spectroscopy is an important method.of Electron beam analysis techniques. Key words:electron beam information surface analysis APS 1.引言 表面科学是上世纪70年代才发展起来的一门新兴学科，主要包括表面物理、表面化学和表面技术三方面。其是一门综合性的学科，涵盖学科知识面广，是当代材料学重要部分。近年来，表面科学得以能够迅猛发展，原因之一就是上世纪50年代实现了超高真，并在此基础上60年代以来发展了各种能谱技术。表面与界面物理作为表面科学的核心方向，广泛地与晶体学、冶金金属学、电化学、半导体技术和石油化工技术以及低温技术紧密结合起来。 然而，作为表面科学的研究手段，表面技术是发展表面科学的前提保证，表面分析技术的发展才使表面科学成为可能。所以，表面技术的探究和发现是具有十分重要意义的。目前，人们在研究表面与界面时最常用的手段有电子束技术和电子能谱，离子束技术以及其他表面分析技术。在电子束技术方面，有很多方法常常被采用在表面科学各个领域，其中重要研究方法有低能电子衍射（LEED）、高能电子衍射（HEED）、X射线光电子能谱（XPS）和紫外线光电子能谱（UPS）等；离子束技术方面常见的方法有离子散射谱（ISS）、二次离子质谱（SIMS）、离子中和谱（INS），还有场离子显微镜（FIM）等等[2]。上述各种方法各自具有不同的分析功能和特点，在实际科研中根据具体的实验要求和条件而采用不同的方法。本文中将讲到的“出现电势谱”就是电子束技术和电子能谱中的方法之一。 2.出现电势谱（appearance potential spectroscopy） 2.1物理原理 表面分析用芯能级谱的一个大类。简称 APS。以一定能量的电子束入射到固体表面，入射电子使原子的内层电子激发而出现空位，测量产生空位所需的最低能量（对应入射电子的最低加速电势）。空位的产生可通过填补这个空位所涉及的俄歇过程或发射软 X射线过程来探测 ，前者称俄歇出现电势谱，后者称软X射线出现电势谱 。俄歇电子或软X光子的能量与原子的壳层结构有关，并因元素而异，故利用出现电势谱可鉴别原子种类。通过逐渐增强入射电子束的能量，测量试样被激发的Ｘ射线或俄歇电子能量的变化以分析试样表面成分元素电子束缚能表面电子结构的电子能谱法。它用能量逐渐增长（50→1500电子伏）的电子轰击