- 1、本文档共5页,可阅读全部内容。
- 2、原创力文档(book118)网站文档一经付费(服务费),不意味着购买了该文档的版权,仅供个人/单位学习、研究之用,不得用于商业用途,未经授权,严禁复制、发行、汇编、翻译或者网络传播等,侵权必究。
- 3、本站所有内容均由合作方或网友上传,本站不对文档的完整性、权威性及其观点立场正确性做任何保证或承诺!文档内容仅供研究参考,付费前请自行鉴别。如您付费,意味着您自己接受本站规则且自行承担风险,本站不退款、不进行额外附加服务;查看《如何避免下载的几个坑》。如果您已付费下载过本站文档,您可以点击 这里二次下载。
- 4、如文档侵犯商业秘密、侵犯著作权、侵犯人身权等,请点击“版权申诉”(推荐),也可以打举报电话:400-050-0827(电话支持时间:9:00-18:30)。
- 5、该文档为VIP文档,如果想要下载,成为VIP会员后,下载免费。
- 6、成为VIP后,下载本文档将扣除1次下载权益。下载后,不支持退款、换文档。如有疑问请联系我们。
- 7、成为VIP后,您将拥有八大权益,权益包括:VIP文档下载权益、阅读免打扰、文档格式转换、高级专利检索、专属身份标志、高级客服、多端互通、版权登记。
- 8、VIP文档为合作方或网友上传,每下载1次, 网站将根据用户上传文档的质量评分、类型等,对文档贡献者给予高额补贴、流量扶持。如果你也想贡献VIP文档。上传文档
查看更多
40 4 Vol. 40 No. 4
2011 4 ACTA PHOT ON ICA SINICA April 2011
: 100442 13( 2011) 0405735
杨开勇, 魏志猛, 龙兴武, 刘贱平
( , 4 10073)
: 研究了散射测量在激光陀螺用石英基片表面 测中的应用. 比较发现, 收集物镜比积分球
更有利于体散射的消除, 更适用于直接 测超光滑石英基片表面的散射测试系统. 用 ZEM AX 设
计了散射光收集物镜, 使其数值孔径达到了0. 4, 并完全消除了轴上距离大于1. 5 mm 的散射点的
体散射; 为了消除光电倍增管输出本身随时间长漂的问题, 设计了特定的散射光收集系统的结构,
将散射光和反射光分时打在同一个光电倍增管上. 分析发现, 这种设置能有效消除光电倍增管输出
随时间趋势性漂移的问题, 增强了系统长时间的稳定性, 有效保障了其工程实用性.
: 表面粗糙度; 表面散射; 体散射; 石英基片; 激光陀螺
: T H742 : A doi: 10. 3788/ gzx 0573
0 ,
,
, . ,
, Al ,
. ,
, , , .
.
, , (
( International Organization for Standardization,
) [ 12] , , [ 45]
ISO) . ,
. [ 67]
, .
,
[ 3]
: 1) . 1988 , DirkRoger Schmitt
, ; 2) [ 1]
. ,
, ,
; 3) , BK7
; 4) 0. 12 nm , z go 5500
. , ,
. 1994 ,
; Oliver Kienzle
, ,
[ 3]
( 2. 7 mm ) , . ,
, 0. 1 ppm ,
. , .
, , .
:
: ( 1974- ) , , , , . Email: mu ik @ 163. com
: 2010 06 18; : 2010 11 22
574 40
, , ,
, 0. 4
文档评论(0)