激光陀螺基片散射收集系统的设计与分析[1].pdfVIP

激光陀螺基片散射收集系统的设计与分析[1].pdf

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40 4 Vol. 40 No. 4 2011 4 ACTA PHOT ON ICA SINICA April 2011 : 100442 13( 2011) 0405735 杨开勇, 魏志猛, 龙兴武, 刘贱平 ( , 4 10073) : 研究了散射测量在激光陀螺用石英基片表面 测中的应用. 比较发现, 收集物镜比积分球 更有利于体散射的消除, 更适用于直接 测超光滑石英基片表面的散射测试系统. 用 ZEM AX 设 计了散射光收集物镜, 使其数值孔径达到了0. 4, 并完全消除了轴上距离大于1. 5 mm 的散射点的 体散射; 为了消除光电倍增管输出本身随时间长漂的问题, 设计了特定的散射光收集系统的结构, 将散射光和反射光分时打在同一个光电倍增管上. 分析发现, 这种设置能有效消除光电倍增管输出 随时间趋势性漂移的问题, 增强了系统长时间的稳定性, 有效保障了其工程实用性. : 表面粗糙度; 表面散射; 体散射; 石英基片; 激光陀螺 : T H742 : A doi: 10. 3788/ gzx 0573 0 , , , . , , Al , . , , , , . . , , ( ( International Organization for Standardization, ) [ 12] , , [ 45] ISO) . , . [ 67] , . , [ 3] : 1) . 1988 , DirkRoger Schmitt , ; 2) [ 1] . , , , ; 3) , BK7 ; 4) 0. 12 nm , z go 5500 . , , . 1994 , ; Oliver Kienzle , , [ 3] ( 2. 7 mm ) , . , , 0. 1 ppm , . , . , , . : : ( 1974- ) , , , , . Email: mu ik @ 163. com : 2010 06 18; : 2010 11 22 574 40 , , , , 0. 4

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