真空系统漏油情况的系统分析.pdfVIP

2009年3月 洁净s空调技术CCAC 第 1期 真空系统漏油情况的系统分析 江苏苏净科技有限公司 黄 坚 耿佐力 摘 要 以某微电子工程真空系统为例，对其漏油故障进行分析，并给出检修思路和故障排除方法。 关键词 真空系统；旋片式真空泵；真空阀；气镇阀；漏油 SystematicAnalysisofOilLeakageinVacuum System HuangJianandGengZuoli AbstractTakingthevacuum system ofamicroelectronicsfacilityasanexample，htecauseofoilleka~ eisnaalysedna d thoughtsnadmehtodsfortrouble—shootingaregiven． KeywordsVacuum system；Rotaryvnaevacuum pump；Vacuum valve；Pneumaticvalve；Oilleak O 前言 某微 电子工程真空系统