MEMS微构件动态特性测试激励技术和方法.pdfVIP

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2017-09-01 发布于安徽
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MEMS微构件动态特性测试激励技术和方法.pdf

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2008年第22卷第5期测试技术学报 V01．22No．52008 0FTESTANDMEASUREMENT No．71) (总第71期) JOURNAL 文章编号：1671—7449(2008)05一0377—10 MEMS微构件动态特性测试的激励技术和方法王晓东h2，杨洋2，余东生2，王涛2，王立鼎1’2 (1．大连理工大学精密与特种加工教育部重点实验室，辽宁大连116024； 2．辽宁省微纳米技术及系统重点实验室。辽宁大连116024) 摘要：在微机电系统(MEMS)微构件动态特性的测试中，激励是基本环节，通过激励使微构件振动，并测量和分析振动响应信号，实现对微构件动态特性的测试．由于MEMS微构件的尺寸小、谐振频率较高，限制了传统的激励技术和方法在其动态特性测试中的应用．目前应用在MEMS微构件动态特性测试中的激励技术和方法，根据实现激励的方式不同，归纳为三类：利用外部场能的激励方法、内部集成激励元件的方法和基于底座激励的方法。具体介绍了声波激励、超声激励、静电激励、磁激励、电热激励、光热激励和压电激励等具体激励方式的原理及其特点，并对各种激励方法的特点进行了比较和分析．关键词；微机电系统微构件；动态特性的测试}激励方法中图分类号：TH703；TH825文献标识码：A Excitation for of of TechniquesTestingDynamic MEMSMicrostructure WANG Ta02，WANG Yan92，SHEDongshen92，WANGLidin91’2 Xiaodon91”。YANG of ofEducation， forDalian of PrecisionNon—traditionalMinistry (1．KeyLaboratory UniversityTechnology Machining for and of Province，Dalian116024， Dalian LaboratoryMicro／NanoTechnologySystemLiaoning 116024，China；2．Key China) ofMEMS excitationisoneoftheessential for characteristic Abstract：The techniquesdynamic testing makemicrostructuresvibrate，andthenthe microstructure．Thefunctionoftheexcitationisusedto dy— canbeextracted ofthe size namiccharacteristicsofthemicrostructure byanalysisresponsesignal．The