氢等离子体特性诊断和分析.pdfVIP

氢等离子体的特性诊断和分析１ * 杨春林，陈俊芳 ，符斯列，史磊，张洪宾，黄孟祥，赖秀琼 华南师范大学物理与电信工程学院，广州 （510006 ） E-mail ：yangchunlin4797@ 摘 要：在微波等离子化学气相沉积装置中，分析了反应室内等离子密度空间分布以及等离 子密度与气压和功率的关系，以及适合金刚石薄膜沉积的区域和合适的反应气压、反应功率。 还分析了Η （656.3nm ）的峰值强度与气压和功率的关系，得到了微波放电氢等离子体内 α 部的基本特性。 关键词:Langmuir 探针，等离子体密度，发射光谱, Ηα 中图分类号：TL65 文献表示码：A 1．引言 等离子体是物质在高温或特定激励下的一种状态,是除固态、液态和气态以外，物质的第 四态。它是由大量正负带电粒子和中性粒子组成，并表现出集体行为的一种准中性气体。研 究人员对等离子体的特性进行了大量的理论和实验研究[1~2] 。等离子体诊断方法分为接触法 和非接触法两大类。接触法包括Langmuir探针法、阻抗测量法等, 一般用来对大范围、均匀 分布等离子体参数进行诊断；非接触法有微波透射法、光谱法等,其特点是不对等离子体产 生扰动,一般用来对小范围或非均匀等离子体进行精确诊断。 2 ．实验方法 本实验采用的微波等离子 CVD 设备如图一所示，装置包括 2.45 GHz 的微波源、环形器 与水负载、定向耦合器与微波功率计、阻抗调配器、反应室、供气和抽气系统。频率为 2.45GHz 的微波激励气体放电产生等离子体，即微波通过微波谐振腔耦合气体产生等离子体。波导管 为 BJ22 型，工作模式为 TE 10 。通过调节磁控管阳极电压的方法调节微波功率的输出，微波 功率从微波源输出后在匹配条件下传输到等离子体反应室，反应室是大小为 208mm×Φ 50 mm 的圆柱体。使用 Langmuir 静电单探针,根据测得的伏安特性I p - Up 曲线作出半对数 ln ( Ip ) - Up 曲线,求出其直线部分的斜率, 由公式: kTe d (eU p ) / d ln(I p ) ，求出电子温度 T ，再根据公式： e I N e0 ≈Ni 0 ≈Ni i0 ，可求出等离子体密度N i [3~4] 。其中I i 0 为离子饱和电流， kT 1 0.61eS ( e ) 2 m i 为 k 玻耳兹曼常数， S 为探针表面积， e 为电子电荷，m 为离子质量数。 i １本课题得到教育部高等学校博士学科点专项科研项目[20040574008]，国家自然科学基金项目 和广东省自然科学基金重点项目）的资助。 -1- 图1 实验装置图 使用国产WDS8型光栅光谱仪得到氢等离子体的发射光谱。为了获取稳定的光源，将光纤 探头固体在反应室的窗口处。等离子体辉光通过位于真空室侧壁上的聚焦系统,再通过光纤 进入光谱仪入射狭缝,光电倍增管输出微弱信号由弱电流放大器放大后,输入数据采集卡,微 机控制采集并输出数据。 3 ． 结果与分析 3.1 微波放电氢等离子体的密度分布 3.1.1 氢等离子体的空间密度分布 测量时，先固定轴向(Z)位置，以每一20mm为一径向(R)间隔旋转，即可分别测到不同径 向半径