绒面ZnOSi异质结太阳能电池初步研究.pdfVIP

第38卷第6期 人 工 晶 体 学 报 No．6 V01．38 2009年12月 JOURNALOFSYNTHElrICCRYSTALS Decembet，2009 绒面ZnO／Si异质结太阳能电池的初步研究 张籍权1，张伏生2，刘爱民1，刘维峰1 (1．大连理工大学物理与光电工程学院，大连116023；2．衡水职业技术学院，衡水053000) 摘要：以P型单晶硅100作为衬底材料，通过化学腐蚀法得到硅绒面表面结构，采用喷雾热解法沉积掺m的 ZnO薄膜于绒面硅上．结合微电子光刻、磁控溅射和真空蒸镀等工艺制作上、下表面电极，于400oC氮气氛围下快 速退火合金，得到Ag／Ti／n-ZnO／p．Si／A1异质结太阳能电池。对电池样品进行了原子力显微镜、霍尔效应测试、x