厚薄膜材料与器件 第一章 绪论.pptVIP

薄厚膜材料与器件The Films and the Devices 材料科学与技术系 黄焱球 引言 问题的提出 什么是薄膜、厚膜？ 为什么要发展薄膜、厚膜及其元器件？ 薄膜、厚膜是怎么制备的？ 薄膜和厚膜的定义 薄膜（thin film)： 指采用一定工艺在一定材料（又称衬底、底材、基片）的表面涂覆厚度约为0.01至数?m的一层或多层涂层材料。一般认为，膜厚不超过1 ?m左右时为薄膜。 厚膜（thick film）： 当涂覆的膜厚大于5 ?m时，称厚膜。 不同类型的材料及其器件 大尺寸 ? 小尺寸 ? 微小尺寸 （数毫米以上） （毫米级） （微米级） 第一章 绪论 在信息技术发展突飞猛进的今天，作为特殊形态材料的薄膜已经成为微电子学、光电子学、磁电子学等新兴交叉学科的材料基础，已广泛渗透到当代科技的各个领域。 电子薄膜技术与电子薄膜材料的发展涉及几乎所有前缘科学，其应用领域包括：电子、计算机、磁记录、信息、传感、能源、机械、光学、航空、航天、核工业等部门。因而受到各国的高度重视。 一、引言 薄膜材料由于其在微观结构、宏观性能等方面所具有的特殊性, 在科学技术发展和人们的日常生活中发挥着越来越重要的作用。 薄膜材料研究不仅