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58 1 2009 1 Vo . 58, No. 1, January, 2009
1000- 3290200958( 01)0565- 05 ACTA PHYSICA SINICA 2009 Chin. Phys. Soc.
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邱胜桦 陈城钊 刘翠青 吴燕丹 李 平 林璇英 黄 余楚迎
1) ( , 52104 1)
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( 2008 4 10 ; 2008 7 3 )
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( VHF- PECVD) , ( 130 Pa) ,
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