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第29卷第4期增刊 仪 器 仪 表 学 报 V01．29No．4
2008年4月 ChineseJournalofScientificInstrument Apr．2008
基于IC工艺甲醛气体传感器的研究宰
张鹏 王兢 杜鹏
(大连理工大学电信学院辽宁大连l16023)
3x2mm的直热式薄膜甲醛气敏元件，对不同浓度甲醛气体下元件的灵敏度以及元件的响应恢复时间进行了测试。实验证明：
元件的灵敏度随气体浓度的增大而增大，测量甲醛的最低浓度为IPlmS。元件的响应和恢复时间均为lOOs．
关键词甲醛气敏元件灵敏度
on GasSensorBasedonIC
StudySn02Formaldehyde Technology
Zhang Du
PengWangJing Peng
and Dalian Dalian
116023Chin矽
(SchoolofElectronicInformationEngineeringUniversityofTechnology
films size
Abstractne of were method．nle of
sensing Pd-dopedSn02 synthesizedby
sol-gel averagegrain
iS sensorwasfabricated IC on3x2mmsiliconsubstrate．，nle
Sn02
15nm．Formaldehydegas byusingtechnology
oftheseilsorunderdifferent concentrationwasmeasured．The showedthat
sensitivity formaldehyde experiments
the increasedwiththeriseof ofl was
concentration．Theconcentration
sensitivity gas ppmformaldehyde
detected．Theandtherecovertimeareallabout1 ooS．
response
Kevwords Gassensor
Formaldehyde Sensitivity
薄膜甲醛气敏元件p1，并对元件的灵敏度以及响应
1 引言 恢复时间进行了测量。
甲醛(HCHO)是一种无色、易溶的刺激性气体，
2实验
已被证实是一种致癌物，能强烈刺激粘膜。空气中
只要有微量的甲醛存在，就会对人的眼、鼻产生刺
2．1材料制备
激。人们长期生活在这种环境下，会对人体的呼吸
系统以及中枢
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