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2017-09-01 发布于安徽
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类金刚石膜在ICF的研究中潜在应用.pdf

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IntenseLaser|强激光技术 ICF 类金刚石膜在研究中的潜在应用 Potential Applications of Diamond-Like Carbon Films in Inertial Confinement Fusion 王雪敏吴卫东李盛印白黎唐永建王锋 (中国工程物理研究院激光聚变研究中心，四川绵阳621900) Wang Xuemin Wu Weidong Li Shengyin Bai Li Tang Yongjian Wang Feng (Research Center of Laser Fusion, China Academy of Engineering Physics, Mianyang , Sichuan 621900, China) 摘要 3 2 1 类金刚石膜(DLC)是由sp ，sp 以及sp 键混合而成，具有优异的物理、化学性能。简要介绍了类金刚石膜的形成及性质，着重概括了它在惯性约束聚变(ICF)研究中的应用潜力，并进一步讨论了研究中存在的问题及今后发展的方向。关键词薄膜；类金刚石膜；惯性约束聚变 3 2 1 Abstract Diamond -like carbon film (DLC) is composed of sp , sp and sp bonds, and has many excellent physical and chemical properties, The synthesis and the properties of DLC, especially the potential applications in the field of inertial confinement fusion (ICF) are introduced. And the existent problem in the research and the future development is funther discussed. Key words thin films；diamond-like carbon film；inertial confinement fusion 中图分类号：O484.4; TG174.444 doi ：10.3788/LO0060 1 引言能相差比较大。对于一定sp3 键含量的类金刚石膜而言，其性质接近金刚石的优异性能，如高硬度、低磨擦 1971年，Aisenberg 和Chabot 首先在室温条件下系数、高电阻率、优良的场发射特性、优异的红外和微获得了物理、化学性质都接近金刚石的硬质碳膜，即波段透过滤以及良好的光学折射率等。因此，在机械、类金刚石膜(DLC) 。随后，经过不断的努力，类金刚石电子、光学、声学、生物医学等很多领域都显示了广阔膜的研究和应用都取得了巨大的进步，但是受沉积机 [1~4] 的应用前景。理、制备技术等多种因素的影响，其性质和应用还远