模拟退火法在吸收薄膜椭偏反演算法中应用.pdfVIP

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2017-09-01 发布于安徽
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模拟退火法在吸收薄膜椭偏反演算法中应用.pdf

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第卷第期光学学报， ’ K32;J3;’ 年月， !! ’ .EF.,GFHE.IHJHE. L85@ !! 文章编号：（） !#$%$!!!’%!’($%!# 模拟退火法在吸收薄膜的椭偏反演算法中的应用! 廖清君王植恒王磊周传宏赖成军刘细成（四川大学物理系，成都） ’)!!’* 摘要：将一种广泛用于求解复杂系统优化问题的技术———模拟退火法———用来求解椭偏反演方程。首先假设一个薄膜模型，计算出其相应的椭偏参数（，）的值，在这个计算值的基础上加入不同标准偏差的高斯噪声；然后将 ! 加入噪声后的值（，）作为模拟的测量数据，采用模拟退火算法进行求解，验证得知这种方法求得的薄膜参数 ! + + 很接近于假设的薄膜模型参数的真值，与其他文献的报道结果一致，而且在扩大搜寻范围时，仍然可以得到准确解，从而证明了该方法的可行性以及有效性。关键词：椭圆偏振术；吸收薄膜；模拟退火中图分类号：文献标识码： ,*(*-# . 随着薄膜技术的广泛应用，薄膜光学特性和表（） @A 1# ，，，， )9 C 9 D ，（）， ! B 9 （） ) @A 1# ，，，，面形态的准确测量逐渐成为薄膜研究的首要问题。 C )9 9 D 其中椭圆偏振测量术测量精度高，具有非破坏性和和为环境媒质与薄膜表面之间的菲涅耳反射 ) )9 非扰动性，被广泛应用于各个领域。但是由测量数系数，和为薄膜与基底界面之间的菲涅耳反 9