单模宽调谐量子级联激光器的研究.pdfVIP

MBE2013 口头报告 S3-7 单模宽调谐量子级联激光器的研究 * 李耀耀，李爱珍 ，张永刚，顾溢，徐刚毅, 王凯 信息功能材料国家重点实验室 中国科学院上海微系统与信息技术研究所，上海，200050 *通讯作者，Email ：azli@mail.sim.ac.cn，联系电话：0218307 中红外波段位于电磁波谱2～25 m ，大多数分子在该波段具有很强的基频特征吸收谱 线，涵盖了揭示波谱本质的原子振动激励、分子振动激励。以中红外单模量子级联激光器为 -9 -12 光源的可调谐激光吸收光谱技术（MIR-TDLAS ）可达到ppb-ppt （10 -10 ）量级的气体检 测灵敏度。这些特点决定了工作于中红外波段光谱区透射窗口和吸收带、吸收线的中红外 QCL 在环境与气候在线实时监测、医学诊断、分子光谱、成像等领域的重大科学、技术意 义和战略性应用价值, 其标志性重大进展为 2013 年 6 月在 San Jose 召开的 Photonic Conference CLEO 上，Block engineering 公司展出了以5-14m QCL 为光源的High Sensitivity Mid-infrared Absorption Spectroscopy，Pranalytica 公司用QCL 做医用仪器。 为了应对复杂多变的测量环境，提高测量分辨率，要求QCLs 能够具有较宽的光谱调谐 范围和优良的单模特性。本文分析了实验室利用分布反馈（Distributed Feedback, DFB ）光栅 的DFB QCLs 和利用外腔结构的EC QCLs 实现单模工作的两种QCL 结构的初步结果。 分布反馈光栅是研制高性能分布反馈激光器的关鍵。我们基于2001-2002 年自主知识产 权创建的全息曝光系统，进一步发展了表面光栅 (Top gratting) 制备DFB QCL。图1 为优化 后的激光器表面光栅结构，光栅周期 1.2 μm。这种特殊结构能够显著降低界面处等离子模 和激光模耦合而带来的波导损耗。通过调整光栅的腐蚀深度来调整光栅顶部和沟槽的折射率 以及波导损耗的变化，使得激光器的耦合系数可控。图2 为采用深腐蚀表面光栅结构的DFB QCLs 的性能曲线图，激射波长为7.6 μm，最高连续工作温度205K，边摸抑制比25 dB 。 结合QCLs 宽增益谱有源区的设计，利用光栅周期的调谐，可以在相同材料结构上获得 宽波长覆盖范围的DFB QCLs 序列。图3 是基于相同材料结构，采用不同周期光栅的DFB QCLs 的性能曲线图。激光器基于同样的四阱耦合双声子辅助共振的有源区设计，采用不同 周期的光栅结构器件A 的光栅周期为1.33 μm，B 为1.30 μm，对应的室温激射波长分别为 8.45 μm 和8.25 μm。图3 主图是两个器件激射波长和工作温度的变化关系图，在50K 到300K 的温度范围内，激光器均呈单模激射，单一激光器的波长调谐范围约为0.14 μm。两个激光 器总的波长调谐范围达0.28 μm。图3 插图是两个激光器在室温脉冲条件下的激射光谱。由 图可知，在室温条件下两个器件均有很好的单模特性，其边模抑制比均达到30 dB，室温下 两个激光器单模波长的跨度为0.18 μm。本工作证明，合理设计QCLs 有源区结构，利用表 面光栅调谐机理，有望实现具有更宽波长调谐范围的单片集成DFB QCLs 。 对F-P 腔QCLs 利用外腔结构获得单模激射国外近几年己有报导。相对于DFB QCLs ， 外腔量子级联激光器（External Cavitity Quantum Cascade Lasers ，EC QCLs ）器件结构简单， 大大简化了 QCLs 的制备工艺。利用利特罗外腔结构，我们成功地获得了外腔量子激光器 （EC-QCLs ）的单模激射光输出，如图4 所示。外腔量子级联激光器在7.6 μm 附近处实